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株式会社ニューフレアテクノロジー

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  2013年 特許取得件数ランキング    第439位 82件 上昇2012年:第464位 75件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5166400 ビーム描画装置 2013年 3月21日
特許 5165952 気相成長装置及び気相成長方法 2013年 3月21日
特許 5162385 荷電粒子ビーム描画装置におけるレーザー測長計の光軸調整方法 2013年 3月13日
特許 5148233 描画装置及び描画方法 2013年 2月20日
特許 5139658 描画データ処理制御装置 2013年 2月 6日
特許 5129535 フォトマスク高さ測定方法及び高さ測定装置を有する電子線描画装置 2013年 1月30日
特許 5133298 気相成長装置及び気相成長方法 2013年 1月30日
特許 5134944 描画装置及び描画方法 2013年 1月30日
特許 5134158 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2013年 1月30日
特許 5133728 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2013年 1月30日
特許 5133087 半導体装置の製造方法 2013年 1月30日
特許 5129626 電子ビーム描画装置および電子ビーム描画方法 2013年 1月30日
特許 5134311 半導体製造装置および半導体製造方法 2013年 1月30日
特許 5127581 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2013年 1月23日
特許 5123730 偏向アンプのセトリング時間検査方法及び偏向アンプの故障判定方法 2013年 1月23日

82 件中 61-75 件を表示

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5166400 5165952 5162385 5148233 5139658 5129535 5133298 5134944 5134158 5133728 5133087 5129626 5134311 5127581 5123730

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