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株式会社ニューフレアテクノロジー

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株式会社ニューフレアテクノロジーの商標一覧

公報番号	発明の名称	公報発行日	備考
特許 5463429	荷電粒子描画システム及び荷電粒子描画装置のパラメータ監視方法	2014年 4月 9日
特許 5461799	荷電粒子ビーム描画装置および荷電粒子ビーム描画装置におけるＤＡＣアンプユニットの診断方法	2014年 4月 2日
特許 5461943	成膜装置および成膜方法	2014年 4月 2日
特許 5461878	ドリフト測定方法、荷電粒子ビーム描画方法および荷電粒子ビーム描画装置	2014年 4月 2日
特許 5451555	ＤＡＣアンプ診断装置、荷電粒子ビーム描画装置及びＤＡＣアンプ診断方法	2014年 3月26日
特許 5451832	パターン検査装置	2014年 3月26日	共同出願
特許 5450322	電子銃のコンディショニング方法および電子ビーム描画装置	2014年 3月26日
特許 5442958	描画装置及び描画方法	2014年 3月19日
特許 5443548	パタン作成方法及び荷電粒子ビーム描画装置	2014年 3月19日
特許 5443096	半導体製造装置および半導体製造方法	2014年 3月19日
特許 5443224	荷電粒子ビーム描画用データの生成方法および荷電粒子ビーム描画用データ生成装置	2014年 3月19日
特許 5441806	荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法	2014年 3月12日
特許 5437124	荷電粒子ビーム描画方法および荷電粒子ビーム描画装置	2014年 3月12日
特許 5436927	荷電粒子ビーム描画装置の基板搬送方法および荷電粒子ビーム描画装置	2014年 3月 5日
特許 5432630	荷電粒子ビーム描画装置、偏向器間のタイミング調整方法、及び偏向アンプの故障検出方法	2014年 3月 5日

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5463429 5461799 5461943 5461878 5451555 5451832 5450322 5442958 5443548 5443096 5443224 5441806 5437124 5436927 5432630

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