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■ 2014年 出願公開件数ランキング 第473位 74件 (2013年:第410位 100件)
■ 2014年 特許取得件数ランキング 第336位 115件 (2013年:第439位 82件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5433011 | 電子ビーム記録装置 | 2014年 3月 5日 | |
特許 5432780 | 描画装置及び基板の判定方法 | 2014年 3月 5日 | |
特許 5432778 | 形成装置 | 2014年 3月 5日 | |
特許 5432637 | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 | 2014年 3月 5日 | |
特許 5436927 | 荷電粒子ビーム描画装置の基板搬送方法および荷電粒子ビーム描画装置 | 2014年 3月 5日 | |
特許 5432630 | 荷電粒子ビーム描画装置、偏向器間のタイミング調整方法、及び偏向アンプの故障検出方法 | 2014年 3月 5日 | |
特許 5420892 | 荷電粒子ビーム描画装置 | 2014年 2月19日 | |
特許 5416998 | 荷電粒子ビーム描画方法および荷電粒子ビーム描画装置 | 2014年 2月12日 | |
特許 5416431 | 電子ビーム描画装置、その電子ビーム描画装置の電子銃のカソード加熱用の電力制御装置及び電力制御方法 | 2014年 2月12日 | |
特許 5414103 | 荷電粒子ビーム描画装置およびその描画データ処理方法 | 2014年 2月12日 | |
特許 5414102 | 荷電粒子ビーム描画装置およびその描画データ処理方法 | 2014年 2月12日 | |
特許 5414043 | 荷電粒子ビーム描画装置および荷電粒子ビーム描画データ作成装置 | 2014年 2月12日 | |
特許 5408652 | 荷電粒子ビーム描画方法および装置 | 2014年 2月 5日 | |
特許 5406551 | 荷電粒子ビーム描画方法および荷電粒子ビーム描画装置 | 2014年 2月 5日 | |
特許 5403981 | 基板カバー | 2014年 1月29日 |
115 件中 91-105 件を表示
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5433011 5432780 5432778 5432637 5436927 5432630 5420892 5416998 5416431 5414103 5414102 5414043 5408652 5406551 5403981
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