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東京エレクトロン株式会社

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  2013年 特許取得件数ランキング    第45位 796件 下降2012年:第37位 902件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5367000 プラズマ処理装置 2013年12月11日
特許 5366235 半導体装置の製造方法、半導体製造装置及び記憶媒体 2013年12月11日 共同出願
特許 5363766 プラズマ処理装置システムの制御装置、プラズマ処理システムの制御方法および制御プログラムを記憶した記憶媒体 2013年12月11日
特許 5364765 半導体装置及び半導体装置の製造方法 2013年12月11日 共同出願
特許 5364514 チャンバ内クリーニング方法 2013年12月11日
特許 5367522 プラズマ処理装置及びシャワーヘッド 2013年12月11日
特許 5356769 載置台 2013年12月 4日
特許 5358366 基板処理装置及び方法 2013年12月 4日
特許 5357710 基板処理方法,基板処理装置,プログラムを記録した記録媒体 2013年12月 4日
特許 5358167 検査装置及びプローブカードの交換方法 2013年12月 4日
特許 5358138 検査装置 2013年12月 4日
特許 5361189 改良されたバフル板のための方法及び装置 2013年12月 4日
特許 5361912 電極製造装置、電極製造方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2013年12月 4日
特許 5356962 載置機構、ダイシングフレーム付きウエハの搬送方法及びこの搬送方法に用いられるウエハ搬送用プログラム 2013年12月 4日
特許 5356522 化学処理及び熱処理用高スループット処理システム及びその動作方法 2013年12月 4日

794 件中 46-60 件を表示

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5367000 5366235 5363766 5364765 5364514 5367522 5356769 5358366 5357710 5358167 5358138 5361189 5361912 5356962 5356522

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