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株式会社アルバック

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  2020年 出願公開件数ランキング    第192位 224件 上昇2019年:第252位 173件)

  2020年 特許取得件数ランキング    第293位 94件 下降2019年:第282位 100件)

(ランキング更新日:2025年10月10日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2020-200493 真空蒸着装置用の蒸着源 2020年12月17日
特開 2020-200495 スパッタリングターゲット機構 2020年12月17日
特開 2020-200499 成膜システム、および、成膜方法 2020年12月17日
特開 2020-200519 成膜装置 2020年12月17日
特開 2020-200520 成膜装置、スパッタリングターゲット機構及び成膜方法 2020年12月17日
特開 2020-200525 マグネトロンスパッタリング装置用のカソードユニット 2020年12月17日
特開 2020-200809 真空ポンプ、真空ポンプの駆動装置及びその駆動方法 2020年12月17日
特開 2020-202243 プラズマ処理装置 2020年12月17日
特開 2020-196915 カーボン膜の成膜方法 2020年12月10日
特開 2020-197570 レジストパターンの製造方法及びレジスト膜 2020年12月10日
特開 2020-198197 イオン注入装置 2020年12月10日
特開 2020-198265 イオン注入装置、イオン源 2020年12月10日
特開 2020-193352 スパッタ成膜装置及びスパッタ成膜方法 2020年12月 3日
特開 2020-193369 搬送室 2020年12月 3日
特開 2020-193388 真空処理装置 2020年12月 3日

229 件中 16-30 件を表示

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2020-200493 2020-200495 2020-200499 2020-200519 2020-200520 2020-200525 2020-200809 2020-202243 2020-196915 2020-197570 2020-198197 2020-198265 2020-193352 2020-193369 2020-193388

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