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東京エレクトロン株式会社
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■ 2015年 出願公開件数ランキング 第56位 677件
（
2014年：第58位 686件）
■ 2015年 特許取得件数ランキング 第51位 433件
（
2014年：第48位 694件）
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東京エレクトロン株式会社の商標一覧| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 5712889 | 成膜装置及び基板処理装置 | 2015年 5月 7日 | |
| 特許 5712902 | 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 | 2015年 5月 7日 | |
| 特許 5712975 | 計測用基板、基板処理装置及び基板処理装置の運転方法 | 2015年 5月 7日 | |
| 特許 5713081 | 塗布、現像装置 | 2015年 5月 7日 | |
| 特許 5713808 | プラズマ処理方法及び半導体装置の製造方法 | 2015年 5月 7日 | |
| 特許 5714004 | プラズマ処理方法 | 2015年 5月 7日 | |
| 特許 5714048 | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法、ならびにコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 | 2015年 5月 7日 | |
| 特許 5714428 | めっき処理装置、めっき処理方法および記憶媒体 | 2015年 5月 7日 | |
| 特許 5714449 | 液処理装置、液処理方法および記憶媒体 | 2015年 5月 7日 | |
| 特許 5714686 | 排気システムの洗浄方法 | 2015年 5月 7日 | |
| 特許 5715361 | クリーニング方法 | 2015年 5月 7日 | |
| 特許 5715444 | 載置装置 | 2015年 5月 7日 | |
| 特許 5715546 | 基板処理装置及び基板処理方法並びに基板処理プログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 | 2015年 5月 7日 | |
| 特許 5715547 | 基板処理装置及び基板処理方法並びに基板処理プログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 | 2015年 5月 7日 | |
| 特許 5708310 | 基板処理装置 | 2015年 4月30日 |
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5712889 5712902 5712975 5713081 5713808 5714004 5714048 5714428 5714449 5714686 5715361 5715444 5715546 5715547 5708310
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