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東京エレクトロン株式会社
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■ 2015年 出願公開件数ランキング 第56位 677件
（
2014年：第58位 686件）
■ 2015年 特許取得件数ランキング 第51位 433件
（
2014年：第48位 694件）
（ランキング更新日：2025年9月12日）筆頭出願人である出願のみカウントしています
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東京エレクトロン株式会社の商標一覧| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 5733437 | 基板搬送装置、基板搬送方法及び記録媒体 | 2015年 6月10日 | |
| 特許 5726636 | 液処理装置、液処理方法 | 2015年 6月 3日 | |
| 特許 5726637 | 液処理装置、液処理方法 | 2015年 6月 3日 | |
| 特許 5726686 | 液処理装置、及び液処理装置の制御方法 | 2015年 6月 3日 | |
| 特許 5726784 | 処理液交換方法および基板処理装置 | 2015年 6月 3日 | |
| 特許 5726807 | パターン形成方法、パターン形成装置、及びコンピュータ可読記憶媒体 | 2015年 6月 3日 | |
| 特許 5727281 | 誘導結合プラズマ処理装置 | 2015年 6月 3日 | |
| 特許 5728221 | 基板処理方法及び記憶媒体 | 2015年 6月 3日 | |
| 特許 5728341 | 排気トラップ | 2015年 6月 3日 | |
| 特許 5728565 | プラズマ処理装置及びこれに用いる遅波板 | 2015年 6月 3日 | |
| 特許 5729148 | 基板搬送容器の開閉装置、蓋体の開閉装置及び半導体製造装置 | 2015年 6月 3日 | |
| 特許 5729326 | 液処理装置、液処理方法及び記憶媒体 | 2015年 6月 3日 | |
| 特許 5722807 | 剥離装置、剥離システム、剥離方法および剥離プログラム | 2015年 5月27日 | |
| 特許 5722808 | 剥離装置、剥離システム、剥離方法および剥離プログラム | 2015年 5月27日 | |
| 特許 5723130 | プラズマ処理装置 | 2015年 5月27日 |
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5733437 5726636 5726637 5726686 5726784 5726807 5727281 5728221 5728341 5728565 5729148 5729326 5722807 5722808 5723130
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