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■ 2015年 出願公開件数ランキング 第56位 677件 (2014年:第58位 686件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 5733437 | 基板搬送装置、基板搬送方法及び記録媒体 | 2015年 6月10日 | |
特許 5726636 | 液処理装置、液処理方法 | 2015年 6月 3日 | |
特許 5726637 | 液処理装置、液処理方法 | 2015年 6月 3日 | |
特許 5726686 | 液処理装置、及び液処理装置の制御方法 | 2015年 6月 3日 | |
特許 5726784 | 処理液交換方法および基板処理装置 | 2015年 6月 3日 | |
特許 5726807 | パターン形成方法、パターン形成装置、及びコンピュータ可読記憶媒体 | 2015年 6月 3日 | |
特許 5727281 | 誘導結合プラズマ処理装置 | 2015年 6月 3日 | |
特許 5728221 | 基板処理方法及び記憶媒体 | 2015年 6月 3日 | |
特許 5728341 | 排気トラップ | 2015年 6月 3日 | |
特許 5728565 | プラズマ処理装置及びこれに用いる遅波板 | 2015年 6月 3日 | |
特許 5729148 | 基板搬送容器の開閉装置、蓋体の開閉装置及び半導体製造装置 | 2015年 6月 3日 | |
特許 5729326 | 液処理装置、液処理方法及び記憶媒体 | 2015年 6月 3日 | |
特許 5722807 | 剥離装置、剥離システム、剥離方法および剥離プログラム | 2015年 5月27日 | |
特許 5722808 | 剥離装置、剥離システム、剥離方法および剥離プログラム | 2015年 5月27日 | |
特許 5723130 | プラズマ処理装置 | 2015年 5月27日 |
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5733437 5726636 5726637 5726686 5726784 5726807 5727281 5728221 5728341 5728565 5729148 5729326 5722807 5722808 5723130
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11月26日(火) -
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11月27日(水) -
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11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月28日(木) - 東京 港区
11月28日(木) - 島根 松江市
11月28日(木) - 京都 京都市
11月28日(木) -
11月28日(木) - 大阪 大阪市
11月28日(木) -
11月29日(金) - 東京 港区
11月29日(金) - 茨城 ひたちなか市
11月30日(土) -
12月1日(日) -
12月1日(日) -
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12月6日(金) - 愛知 豊橋市花田町
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