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東京エレクトロン株式会社

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  2015年 出願公開件数ランキング    第56位 677件 上昇2014年:第58位 686件)

  2015年 特許取得件数ランキング    第51位 433件 下降2014年:第48位 694件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 5733437 基板搬送装置、基板搬送方法及び記録媒体 2015年 6月10日
特許 5726636 液処理装置、液処理方法 2015年 6月 3日
特許 5726637 液処理装置、液処理方法 2015年 6月 3日
特許 5726686 液処理装置、及び液処理装置の制御方法 2015年 6月 3日
特許 5726784 処理液交換方法および基板処理装置 2015年 6月 3日
特許 5726807 パターン形成方法、パターン形成装置、及びコンピュータ可読記憶媒体 2015年 6月 3日
特許 5727281 誘導結合プラズマ処理装置 2015年 6月 3日
特許 5728221 基板処理方法及び記憶媒体 2015年 6月 3日
特許 5728341 排気トラップ 2015年 6月 3日
特許 5728565 プラズマ処理装置及びこれに用いる遅波板 2015年 6月 3日
特許 5729148 基板搬送容器の開閉装置、蓋体の開閉装置及び半導体製造装置 2015年 6月 3日
特許 5729326 液処理装置、液処理方法及び記憶媒体 2015年 6月 3日
特許 5722807 剥離装置、剥離システム、剥離方法および剥離プログラム 2015年 5月27日
特許 5722808 剥離装置、剥離システム、剥離方法および剥離プログラム 2015年 5月27日
特許 5723130 プラズマ処理装置 2015年 5月27日

439 件中 211-225 件を表示

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5733437 5726636 5726637 5726686 5726784 5726807 5727281 5728221 5728341 5728565 5729148 5729326 5722807 5722808 5723130

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