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東京エレクトロン株式会社

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  2015年 出願公開件数ランキング    第56位 677件 上昇2014年:第58位 686件)

  2015年 特許取得件数ランキング    第51位 433件 下降2014年:第48位 694件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 5723243 成膜方法、これを含む半導体装置の製造方法、成膜装置、及び半導体装置 2015年 5月27日
特許 5723397 プラズマ処理装置 2015年 5月27日
特許 5723678 プラズマ処理装置及びそのガス供給方法 2015年 5月27日
特許 5724091 ゲートバルブ及びそれを用いた基板処理装置 2015年 5月27日
特許 5724713 熱処理装置 2015年 5月27日
特許 5725574 マイクロ波導波装置、プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 2015年 5月27日
特許 5726136 熱処理装置、熱処理方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2015年 5月27日
特許 5719599 基板処理装置 2015年 5月20日
特許 5719648 エッチング方法、およびエッチング装置 2015年 5月20日
特許 5720406 ガス供給装置、熱処理装置、ガス供給方法及び熱処理方法 2015年 5月20日
特許 5721145 液処理装置及び液処理方法並びに液処理用記憶媒体 2015年 5月20日
特許 5722469 インジェクターブロック 2015年 5月20日
特許 5715904 熱処理装置、及びこれに基板を搬送する基板搬送方法 2015年 5月13日
特許 5715981 基板処理方法および基板処理装置 2015年 5月13日
特許 5716696 液処理装置、液処理方法及びコンピュータ読取可能な記憶媒体 2015年 5月13日

439 件中 226-240 件を表示

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5723243 5723397 5723678 5724091 5724713 5725574 5726136 5719599 5719648 5720406 5721145 5722469 5715904 5715981 5716696

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