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■ 2015年 出願公開件数ランキング 第56位 677件
(2014年:第58位 686件)
■ 2015年 特許取得件数ランキング 第51位 433件
(2014年:第48位 694件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5723243 | 成膜方法、これを含む半導体装置の製造方法、成膜装置、及び半導体装置 | 2015年 5月27日 | |
特許 5723397 | プラズマ処理装置 | 2015年 5月27日 | |
特許 5723678 | プラズマ処理装置及びそのガス供給方法 | 2015年 5月27日 | |
特許 5724091 | ゲートバルブ及びそれを用いた基板処理装置 | 2015年 5月27日 | |
特許 5724713 | 熱処理装置 | 2015年 5月27日 | |
特許 5725574 | マイクロ波導波装置、プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 | 2015年 5月27日 | |
特許 5726136 | 熱処理装置、熱処理方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | 2015年 5月27日 | |
特許 5719599 | 基板処理装置 | 2015年 5月20日 | |
特許 5719648 | エッチング方法、およびエッチング装置 | 2015年 5月20日 | |
特許 5720406 | ガス供給装置、熱処理装置、ガス供給方法及び熱処理方法 | 2015年 5月20日 | |
特許 5721145 | 液処理装置及び液処理方法並びに液処理用記憶媒体 | 2015年 5月20日 | |
特許 5722469 | インジェクターブロック | 2015年 5月20日 | |
特許 5715904 | 熱処理装置、及びこれに基板を搬送する基板搬送方法 | 2015年 5月13日 | |
特許 5715981 | 基板処理方法および基板処理装置 | 2015年 5月13日 | |
特許 5716696 | 液処理装置、液処理方法及びコンピュータ読取可能な記憶媒体 | 2015年 5月13日 |
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5723243 5723397 5723678 5724091 5724713 5725574 5726136 5719599 5719648 5720406 5721145 5722469 5715904 5715981 5716696
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