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東京エレクトロン株式会社
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■ 2015年 出願公開件数ランキング 第56位 677件
（
2014年：第58位 686件）
■ 2015年 特許取得件数ランキング 第51位 433件
（
2014年：第48位 694件）
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東京エレクトロン株式会社の商標一覧| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 5833046 | 基板液処理装置および気流異常検出方法 | 2015年12月16日 | |
| 特許 5829092 | 液処理装置および液処理方法 | 2015年12月 9日 | |
| 特許 5829171 | 剥離システム、剥離方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | 2015年12月 9日 | |
| 特許 5829174 | 液処理装置および液処理方法 | 2015年12月 9日 | |
| 特許 5829196 | シリコン酸化物膜の成膜方法 | 2015年12月 9日 | |
| 特許 5829509 | 載置台及びプラズマ処理装置 | 2015年12月 9日 | |
| 特許 5829926 | タングステン膜の成膜方法 | 2015年12月 9日 | |
| 特許 5830140 | 基板処理装置 | 2015年12月 9日 | |
| 特許 5830275 | プラズマエッチング方法 | 2015年12月 9日 | |
| 特許 5830440 | 剥離システム、剥離方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | 2015年12月 9日 | |
| 特許 5825268 | 基板検査装置 | 2015年12月 2日 | |
| 特許 5826466 | プローブカードの平行調整機構及び検査装置 | 2015年12月 2日 | |
| 特許 5827384 | アモルファスシリコン膜の成膜方法および成膜装置 | 2015年12月 2日 | |
| 特許 5827593 | 可動ノズルおよび基板処理装置 | 2015年12月 2日 | |
| 特許 5827939 | 成膜方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体及び成膜装置 | 2015年12月 2日 |
439 件中 16-30 件を表示
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5833046 5829092 5829171 5829174 5829196 5829509 5829926 5830140 5830275 5830440 5825268 5826466 5827384 5827593 5827939
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