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東京エレクトロン株式会社

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  2015年 出願公開件数ランキング    第56位 677件 上昇2014年:第58位 686件)

  2015年 特許取得件数ランキング    第51位 433件 下降2014年:第48位 694件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 5812561 プラズマ処理装置 2015年11月17日
特許 5813389 基板処理時間設定方法及び記憶媒体 2015年11月17日
特許 5813495 液処理方法、液処理装置および記憶媒体 2015年11月17日
特許 5813551 基板処理装置および基板処理方法 2015年11月17日
特許 5813649 液処理装置、液処理方法 2015年11月17日
特許 5814430 プラズマ処理装置およびプラズマ処理装置用電極 2015年11月17日
特許 5815089 ガス分解システムおよびガス分解器の寿命確認方法 2015年11月17日
特許 5815827 めっき処理装置、めっき処理方法および記憶媒体 2015年11月17日
特許 5815967 基板洗浄装置及び真空処理システム 2015年11月17日
特許 5809718 基板搬送装置および基板処理システム 2015年11月11日
特許 5811540 金属膜の加工方法及び加工装置 2015年11月11日
特許 5812023 液処理装置 2015年11月11日
特許 5806185 剥離システム 2015年11月10日
特許 5806350 半導体装置の製造方法 2015年11月10日
特許 5806612 シリコン酸炭窒化膜の形成方法 2015年11月10日

439 件中 46-60 件を表示

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5812561 5813389 5813495 5813551 5813649 5814430 5815089 5815827 5815967 5809718 5811540 5812023 5806185 5806350 5806612

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