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東京エレクトロン株式会社
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■ 2015年 出願公開件数ランキング 第56位 677件
（
2014年：第58位 686件）
■ 2015年 特許取得件数ランキング 第51位 433件
（
2014年：第48位 694件）
（ランキング更新日：2021年11月25日）筆頭出願人である出願のみカウントしています
| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 5823160 | 堆積物除去方法 | 2015年11月25日 | |
| 特許 5823399 | マイクロ波導入機構、マイクロ波プラズマ源およびマイクロ波プラズマ処理装置 | 2015年11月25日 | |
| 特許 5823424 | 基板処理方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体及び基板処理システム | 2015年11月25日 | |
| 特許 5823922 | 成膜方法 | 2015年11月25日 | |
| 特許 5824372 | 処理装置及びプロセス状態の確認方法 | 2015年11月25日 | |
| 特許 5819448 | プラズマ処理装置、異常判定方法及びマイクロ波発生器 | 2015年11月24日 | |
| 特許 5820661 | マイクロ波照射装置 | 2015年11月24日 | |
| 特許 5820709 | 基板処理方法、この基板処理方法を実行するためのコンピュータプログラムが記録された記録媒体、および基板処理装置 | 2015年11月24日 | |
| 特許 5821689 | 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 | 2015年11月24日 | |
| 特許 5821784 | エッチング方法、エッチング装置及び記憶媒体 | 2015年11月24日 | |
| 特許 5821816 | 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 | 2015年11月24日 | |
| 特許 5822578 | 載置台温度制御装置及び基板処理装置 | 2015年11月24日 | |
| 特許 5817693 | 基板処理装置 | 2015年11月18日 | |
| 特許 5817906 | プラズマ処理装置、および高周波発生器 | 2015年11月18日 | |
| 特許 5818710 | パターン形成方法 | 2015年11月18日 |
439 件中 31-45 件を表示
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5823160 5823399 5823424 5823922 5824372 5819448 5820661 5820709 5821689 5821784 5821816 5822578 5817693 5817906 5818710
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