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東京エレクトロン株式会社
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■ 2015年 出願公開件数ランキング 第56位 677件
（
2014年：第58位 686件）
■ 2015年 特許取得件数ランキング 第51位 433件
（
2014年：第48位 694件）
（ランキング更新日：2025年8月25日）筆頭出願人である出願のみカウントしています
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東京エレクトロン株式会社の商標一覧| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 5798677 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2015年10月21日 | |
| 特許 5798766 | ボルトの緩み防止装置ならびにその取付方法および取付治具 | 2015年10月21日 | |
| 特許 5792438 | 成膜装置及び成膜方法 | 2015年10月14日 | |
| 特許 5792492 | 温調機構、プラズマ処理装置及び温調制御方法 | 2015年10月14日 | |
| 特許 5792563 | プラズマエッチング方法及びプラズマエッチング装置 | 2015年10月14日 | |
| 特許 5793398 | シード層の形成方法及びシリコン含有薄膜の成膜方法 | 2015年10月14日 | |
| 特許 5793468 | 熱処理装置、熱処理板の冷却方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | 2015年10月14日 | |
| 特許 5793527 | 搬送装置制御システム及び搬送装置のアクセス位置を調整する方法 | 2015年10月14日 | |
| 特許 5794194 | 基板処理装置 | 2015年10月14日 | |
| 特許 5794949 | シリコン膜の形成方法およびその形成装置 | 2015年10月14日 | |
| 特許 5795396 | 液処理装置 | 2015年10月14日 | |
| 特許 5788627 | カーボンナノチューブ成長方法 | 2015年10月 7日 | |
| 特許 5788785 | Ｃｕ配線の形成方法および成膜システム | 2015年10月 7日 | |
| 特許 5789036 | プラズマエッチング装置及びプラズマエッチング方法 | 2015年10月 7日 | |
| 特許 5789206 | ウエハ検査用インターフェース及びウエハ検査装置 | 2015年10月 7日 |
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5798677 5798766 5792438 5792492 5792563 5793398 5793468 5793527 5794194 5794949 5795396 5788627 5788785 5789036 5789206
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