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東京エレクトロン株式会社

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  2019年 出願公開件数ランキング    第58位 660件 上昇2018年:第67位 588件)

  2019年 特許取得件数ランキング    第58位 415件 下降2018年:第50位 503件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6515003 インターフェース装置、インターフェースユニット、プローブ装置及び接続方法 2019年 5月15日
特許 6515007 ウエハ検査方法及びウエハ検査装置 2019年 5月15日
特許 6507953 基板処理装置及び基板処理方法 2019年 5月 8日
特許 6509049 マイクロ波プラズマ源およびプラズマ処理装置 2019年 5月 8日
特許 6509095 窒化膜の形成方法 2019年 5月 8日
特許 6509103 基板処理方法、基板処理装置、及び基板処理システム 2019年 5月 8日
特許 6509104 基板液処理装置 2019年 5月 8日
特許 6509609 液滴体積測定装置、液滴体積測定方法、液滴体積測定用基板及びインクジェット描画装置 2019年 5月 8日
特許 6503730 成膜装置 2019年 4月24日
特許 6504017 基板処理装置 2019年 4月24日
特許 6504770 プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 2019年 4月24日
特許 6504827 エッチング方法 2019年 4月24日
特許 6504890 異物除去装置、異物除去方法および剥離装置 2019年 4月24日
特許 6504974 磁化処理装置及び磁化処理方法 2019年 4月24日
特許 6504989 エッチング方法 2019年 4月24日

418 件中 271-285 件を表示

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6515003 6515007 6507953 6509049 6509095 6509103 6509104 6509609 6503730 6504017 6504770 6504827 6504890 6504974 6504989

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