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東京エレクトロン株式会社

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  2019年 出願公開件数ランキング    第58位 660件 上昇2018年:第67位 588件)

  2019年 特許取得件数ランキング    第58位 415件 下降2018年:第50位 503件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6447697 現像方法、現像装置及び記憶媒体 2019年 1月 9日
特許 6448064 スピンコーティングにおける欠陥制御のためのカバープレート 2019年 1月 9日
特許 6449091 スリップリング、支持機構及びプラズマ処理装置 2019年 1月 9日
特許 6449097 基板処理方法及び基板処理装置並びに基板処理プログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 2019年 1月 9日
特許 6449141 エッチング処理方法及びプラズマ処理装置 2019年 1月 9日
特許 6449674 プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 2019年 1月 9日
特許 6449752 現像処理方法、コンピュータ記憶媒体及び現像処理装置 2019年 1月 9日
特許 6450303 熱処理装置、温度調節方法及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体 2019年 1月 9日
特許 6450333 基板処理方法、基板処理装置及び基板処理システム 2019年 1月 9日
特許 6450469 気化器、成膜装置及び温度制御方法 2019年 1月 9日
特許 6450633 異物検出方法、異物検出装置および剥離装置 2019年 1月 9日
特許 6450650 処理装置、処理方法および記憶媒体 2019年 1月 9日
特許 6450653 格納ユニット、搬送装置、及び、基板処理システム 2019年 1月 9日

418 件中 406-418 件を表示

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6447697 6448064 6449091 6449097 6449141 6449674 6449752 6450303 6450333 6450469 6450633 6450650 6450653

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