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東京エレクトロン株式会社

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  2020年 出願公開件数ランキング    第43位 773件 上昇2019年:第58位 660件)

  2020年 特許取得件数ランキング    第54位 436件 上昇2019年:第58位 415件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2020-141033 堆積処理方法及びプラズマ処理装置 2020年 9月 3日
特開 2020-141034 基板処理装置、基板処理方法及び接合方法 2020年 9月 3日
特開 2020-141038 ガス供給方法およびガス供給システム 2020年 9月 3日
特開 2020-141039 ガス供給システムおよびガス供給方法 2020年 9月 3日
特開 2020-141103 基板処理方法及び基板処理装置 2020年 9月 3日
特開 2020-141116 プラズマ処理装置、プラズマ状態検出方法およびプラズマ状態検出プログラム 2020年 9月 3日
特開 2020-141118 基板処理装置、基板処理システム及び載置台を位置合わせする方法 2020年 9月 3日
特開 2020-132890 スパッタ装置 2020年 8月31日
特開 2020-132904 基板処理方法及び基板処理装置 2020年 8月31日
特開 2020-132942 成膜装置および成膜方法 2020年 8月31日
特開 2020-132986 成膜用組成物および成膜方法 2020年 8月31日
特開 2020-136062 基板処理装置 2020年 8月31日
特開 2020-136338 プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 2020年 8月31日
特開 2020-136368 画像生成装置、検査装置及び画像生成方法 2020年 8月31日
特開 2020-136387 成膜方法、成膜処理用の処理容器のクリーニング方法及び成膜装置 2020年 8月31日

777 件中 256-270 件を表示

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2020-141033 2020-141034 2020-141038 2020-141039 2020-141103 2020-141116 2020-141118 2020-132890 2020-132904 2020-132942 2020-132986 2020-136062 2020-136338 2020-136368 2020-136387

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