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■ 2020年 出願公開件数ランキング 第43位 773件
(2019年:第58位 660件)
■ 2020年 特許取得件数ランキング 第54位 436件
(2019年:第58位 415件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2020-141033 | 堆積処理方法及びプラズマ処理装置 | 2020年 9月 3日 | |
特開 2020-141034 | 基板処理装置、基板処理方法及び接合方法 | 2020年 9月 3日 | |
特開 2020-141038 | ガス供給方法およびガス供給システム | 2020年 9月 3日 | |
特開 2020-141039 | ガス供給システムおよびガス供給方法 | 2020年 9月 3日 | |
特開 2020-141103 | 基板処理方法及び基板処理装置 | 2020年 9月 3日 | |
特開 2020-141116 | プラズマ処理装置、プラズマ状態検出方法およびプラズマ状態検出プログラム | 2020年 9月 3日 | |
特開 2020-141118 | 基板処理装置、基板処理システム及び載置台を位置合わせする方法 | 2020年 9月 3日 | |
特開 2020-132890 | スパッタ装置 | 2020年 8月31日 | |
特開 2020-132904 | 基板処理方法及び基板処理装置 | 2020年 8月31日 | |
特開 2020-132942 | 成膜装置および成膜方法 | 2020年 8月31日 | |
特開 2020-132986 | 成膜用組成物および成膜方法 | 2020年 8月31日 | |
特開 2020-136062 | 基板処理装置 | 2020年 8月31日 | |
特開 2020-136338 | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 | 2020年 8月31日 | |
特開 2020-136368 | 画像生成装置、検査装置及び画像生成方法 | 2020年 8月31日 | |
特開 2020-136387 | 成膜方法、成膜処理用の処理容器のクリーニング方法及び成膜装置 | 2020年 8月31日 |
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2020-141033 2020-141034 2020-141038 2020-141039 2020-141103 2020-141116 2020-141118 2020-132890 2020-132904 2020-132942 2020-132986 2020-136062 2020-136338 2020-136368 2020-136387
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2月27日(木) - 東京 港区
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2月25日(火) -
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3月4日(火) -
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3月7日(金) - 東京 港区
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