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東京エレクトロン株式会社

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  2020年 出願公開件数ランキング    第43位 773件 上昇2019年:第58位 660件)

  2020年 特許取得件数ランキング    第54位 436件 上昇2019年:第58位 415件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2020-136397 基板処理装置及び基板処理方法 2020年 8月31日
特開 2020-136438 基板処理装置および基板処理方法 2020年 8月31日
特開 2020-136442 レーザー加工装置の設定方法、レーザー加工方法、レーザー加工装置、薄化システム、および基板処理方法 2020年 8月31日
特開 2020-136448 基板処理装置及び基板処理方法 2020年 8月31日
特開 2020-136509 フィルタウェッティング方法及び処理液供給装置 2020年 8月31日
特開 2020-136540 水蒸気処理装置及び水蒸気処理方法 2020年 8月31日
特開 2020-136569 検査装置及びクリーニング方法 2020年 8月31日
特開 2020-136616 載置台及び基板処理装置 2020年 8月31日
特開 2020-136622 調整用冶具、調整方法及び位置ずれ測定方法 2020年 8月31日
特開 2020-136669 エッチング方法 2020年 8月31日
再表 2019-39432 基板処理方法、コンピュータ記憶媒体及び基板処理システム 2020年 8月27日
特開 2020-128571 成膜装置および成膜方法 2020年 8月27日
特開 2020-128581 基板処理方法及び成膜システム 2020年 8月27日
特開 2020-128723 チューブ体及びポンプ装置 2020年 8月27日
特開 2020-129607 基板処理装置及び基板処理方法 2020年 8月27日

777 件中 271-285 件を表示

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2020-136397 2020-136438 2020-136442 2020-136448 2020-136509 2020-136540 2020-136569 2020-136616 2020-136622 2020-136669 2019-39432 2020-128571 2020-128581 2020-128723 2020-129607

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