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東京エレクトロン株式会社

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  2020年 出願公開件数ランキング    第43位 773件 上昇2019年:第58位 660件)

  2020年 特許取得件数ランキング    第54位 436件 上昇2019年:第58位 415件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2020-107651 ガス供給機構、ガス供給方法、および成膜装置 2020年 7月 9日
特開 2020-107683 基板処理システム、および基板処理方法 2020年 7月 9日
特開 2020-107684 温度調整装置及び温度調整装置の制御方法 2020年 7月 9日
特開 2020-107686 基板処理装置および基板処理方法 2020年 7月 9日
特開 2020-107744 基板液処理装置 2020年 7月 9日
特開 2020-107747 基板処理装置および基板処理方法 2020年 7月 9日
特開 2020-107756 基板処理装置、および基板処理方法 2020年 7月 9日
特開 2020-107762 プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 2020年 7月 9日
特開 2020-107841 基板処理装置および基板処理装置の運転方法 2020年 7月 9日
特開 2020-107854 ガス導入構造、処理装置及び処理方法 2020年 7月 9日
特開 2020-107855 基板処理方法および基板処理システム 2020年 7月 9日
特開 2020-107857 載置台、基板処理装置及び制御方法 2020年 7月 9日
特開 2020-107859 測定方法及び測定治具 2020年 7月 9日
特開 2020-107881 基板載置台、及び、基板処理装置 2020年 7月 9日
再表 2019-12978 基板搬送装置および基板搬送方法 2020年 7月 2日

777 件中 376-390 件を表示

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2020-107651 2020-107683 2020-107684 2020-107686 2020-107744 2020-107747 2020-107756 2020-107762 2020-107841 2020-107854 2020-107855 2020-107857 2020-107859 2020-107881 2019-12978

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