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■ 2020年 出願公開件数ランキング 第43位 773件
(2019年:第58位 660件)
■ 2020年 特許取得件数ランキング 第54位 436件
(2019年:第58位 415件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2020-107651 | ガス供給機構、ガス供給方法、および成膜装置 | 2020年 7月 9日 | |
特開 2020-107683 | 基板処理システム、および基板処理方法 | 2020年 7月 9日 | |
特開 2020-107684 | 温度調整装置及び温度調整装置の制御方法 | 2020年 7月 9日 | |
特開 2020-107686 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2020年 7月 9日 | |
特開 2020-107744 | 基板液処理装置 | 2020年 7月 9日 | |
特開 2020-107747 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2020年 7月 9日 | |
特開 2020-107756 | 基板処理装置、および基板処理方法 | 2020年 7月 9日 | |
特開 2020-107762 | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 | 2020年 7月 9日 | |
特開 2020-107841 | 基板処理装置および基板処理装置の運転方法 | 2020年 7月 9日 | |
特開 2020-107854 | ガス導入構造、処理装置及び処理方法 | 2020年 7月 9日 | |
特開 2020-107855 | 基板処理方法および基板処理システム | 2020年 7月 9日 | |
特開 2020-107857 | 載置台、基板処理装置及び制御方法 | 2020年 7月 9日 | |
特開 2020-107859 | 測定方法及び測定治具 | 2020年 7月 9日 | |
特開 2020-107881 | 基板載置台、及び、基板処理装置 | 2020年 7月 9日 | |
再表 2019-12978 | 基板搬送装置および基板搬送方法 | 2020年 7月 2日 |
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2020-107651 2020-107683 2020-107684 2020-107686 2020-107744 2020-107747 2020-107756 2020-107762 2020-107841 2020-107854 2020-107855 2020-107857 2020-107859 2020-107881 2019-12978
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2月25日(火) -
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2月26日(水) -
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2月26日(水) - 東京 港区
2月26日(水) -
2月26日(水) - 千葉 船橋市
2月27日(木) -
2月27日(木) -
2月27日(木) - 東京 港区
2月27日(木) -
2月27日(木) - 東京 千代田区
2月25日(火) -
3月4日(火) - 東京 港区
3月4日(火) -
3月4日(火) -
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3月5日(水) -
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3月6日(木) -
3月6日(木) - 東京 品川区
3月6日(木) - 東京 港区
3月6日(木) -
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3月7日(金) - 東京 港区
3月7日(金) -
3月7日(金) -
3月4日(火) - 東京 港区
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