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東京エレクトロン株式会社

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  2020年 出願公開件数ランキング    第43位 773件 上昇2019年:第58位 660件)

  2020年 特許取得件数ランキング    第54位 436件 上昇2019年:第58位 415件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2020-119982 プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 2020年 8月 6日
特開 2020-119996 基板処理装置、基板処理システム及び基板処理方法。 2020年 8月 6日
特開 2020-119997 載置台、基板処理装置及び保護方法 2020年 8月 6日
特開 2020-120045 熱媒体の制御方法および熱媒体制御装置 2020年 8月 6日
特開 2020-120081 基板処理装置 2020年 8月 6日
特開 2020-120099 基板処理装置及び基板処理方法 2020年 8月 6日
特開 2020-120137 基板処理装置 2020年 8月 6日
特開 2020-120138 接合装置、および接合方法 2020年 8月 6日
再表 2019-146427 接合システム、および接合方法 2020年 7月30日
特開 2020-115419 上部電極構造、プラズマ処理装置、及び上部電極構造を組み立てる方法 2020年 7月30日
特開 2020-115498 エッチング方法およびエッチング装置 2020年 7月30日
特開 2020-115499 プラズマ処理装置、及びリング部材の位置ずれ測定方法 2020年 7月30日
特開 2020-115513 基板処理方法及び基板処理装置 2020年 7月30日
特開 2020-115519 載置台及び基板処理装置 2020年 7月30日
特開 2020-115538 エッチング処理方法およびエッチング処理装置 2020年 7月30日

777 件中 331-345 件を表示

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2020-119982 2020-119996 2020-119997 2020-120045 2020-120081 2020-120099 2020-120137 2020-120138 2019-146427 2020-115419 2020-115498 2020-115499 2020-115513 2020-115519 2020-115538

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