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東京エレクトロン株式会社

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  2020年 出願公開件数ランキング    第43位 773件 上昇2019年:第58位 660件)

  2020年 特許取得件数ランキング    第54位 436件 上昇2019年:第58位 415件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2020-113697 状態判定方法、状態判定装置、及び記憶媒体 2020年 7月27日
特開 2020-113701 チャックトップ、検査装置、およびチャックトップの回収方法 2020年 7月27日
特開 2020-113743 窒化膜の成膜方法、および窒化膜の成膜装置 2020年 7月27日
特開 2020-113746 処理装置 2020年 7月27日
特開 2020-113752 プラズマ処理装置 2020年 7月27日
特開 2020-113753 プラズマ処理装置及びエッチング方法 2020年 7月27日
特開 2020-113759 処理方法及びプラズマ処理装置 2020年 7月27日
特開 2020-113795 エッチング方法およびエッチング装置 2020年 7月27日
特開 2020-109838 プラズマ処理装置及び制御方法 2020年 7月16日
特開 2020-109855 半導体システム及びデータ編集支援方法 2020年 7月16日
特開 2020-105555 成膜装置及び方法 2020年 7月 9日
特開 2020-105591 RuSi膜の形成方法及び成膜装置 2020年 7月 9日
特開 2020-106388 検査装置および検査方法 2020年 7月 9日
特開 2020-106454 温度測定部材、検査装置及び温度測定方法 2020年 7月 9日
特開 2020-106497 抵抗測定治具及び抵抗測定治具の切替方法 2020年 7月 9日

777 件中 361-375 件を表示

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2020-113697 2020-113701 2020-113743 2020-113746 2020-113752 2020-113753 2020-113759 2020-113795 2020-109838 2020-109855 2020-105555 2020-105591 2020-106388 2020-106454 2020-106497

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