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東京エレクトロン株式会社

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  2021年 出願公開件数ランキング    第33位 878件 上昇2020年:第43位 773件)

  2021年 特許取得件数ランキング    第45位 515件 上昇2020年:第54位 436件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2021-145013 エッジリングの保持方法、プラズマ処理装置、及び基板処理システム 2021年 9月24日
特開 2021-145017 基板搬送システム、真空基板搬送モジュール、および基板搬送方法 2021年 9月24日
特開 2021-145030 基板処理方法及び基板処理装置 2021年 9月24日
特開 2021-145095 温度制御方法およびプラズマ処理装置 2021年 9月24日
再表 2020-54424 塗布膜形成方法及び塗布膜形成装置 2021年 9月16日
特開 2021-137882 加工方法及び加工装置 2021年 9月16日
特開 2021-137883 セルフグラインド方法及び加工装置 2021年 9月16日
特開 2021-137934 研削装置、及び研削方法 2021年 9月16日
特開 2021-138050 描画装置および描画方法 2021年 9月16日
特開 2021-139017 基板処理装置及び基板処理方法 2021年 9月16日
特開 2021-139675 測定装置、基板処理システムおよび測定方法 2021年 9月16日
特開 2021-140986 プラズマ処理装置 2021年 9月16日
特開 2021-141010 検査方法及びプラズマ処理装置 2021年 9月16日
特開 2021-141050 プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 2021年 9月16日
特開 2021-141113 プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 2021年 9月16日

882 件中 256-270 件を表示

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2021-145013 2021-145017 2021-145030 2021-145095 2020-54424 2021-137882 2021-137883 2021-137934 2021-138050 2021-139017 2021-139675 2021-140986 2021-141010 2021-141050 2021-141113

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