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東京エレクトロン株式会社

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  2021年 出願公開件数ランキング    第33位 878件 上昇2020年:第43位 773件)

  2021年 特許取得件数ランキング    第45位 515件 上昇2020年:第54位 436件)

(ランキング更新日:2025年2月13日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2021-134808 バルブ装置 2021年 9月13日
特開 2021-135046 流量測定方法および流量測定装置 2021年 9月13日
特開 2021-136064 誘導結合アンテナ及びプラズマ処理装置 2021年 9月13日
特開 2021-136065 アンテナセグメント及び誘導結合プラズマ処理装置 2021年 9月13日
特開 2021-136114 プラズマ処理装置 2021年 9月13日
特開 2021-136255 プラズマ処理方法 2021年 9月13日
特開 2021-136263 液処理装置及び液処理方法 2021年 9月13日
特開 2021-136289 測定方法及び測定システム 2021年 9月13日
特開 2021-136291 プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 2021年 9月13日
特開 2021-136329 現像処理装置及び現像処理方法 2021年 9月13日
特開 2021-136343 不純物低減方法及び不純物低減装置 2021年 9月13日
特開 2021-136344 位置決め装置、処理システム及び位置決め方法 2021年 9月13日
特開 2021-136359 部品運搬装置および処理システム 2021年 9月13日
特開 2021-136360 部品交換方法 2021年 9月13日
特開 2021-136372 温調媒体処理装置及び温調媒体処理方法 2021年 9月13日

882 件中 286-300 件を表示

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2021-134808 2021-135046 2021-136064 2021-136065 2021-136114 2021-136255 2021-136263 2021-136289 2021-136291 2021-136329 2021-136343 2021-136344 2021-136359 2021-136360 2021-136372

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