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東京エレクトロン株式会社

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　■　2021年特許取得件数ランキング　　　第45位　515件（2020年：第54位　436件）

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東京エレクトロン株式会社の商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特開 2021-141115	接合装置、接合システム、接合方法および記憶媒体	2021年 9月16日
特開 2021-141116	静電チャックの製造方法、静電チャック及び基板処理装置	2021年 9月16日
特開 2021-141136	基板搬送システムおよび大気搬送モジュール	2021年 9月16日
特開 2021-141143	検査装置	2021年 9月16日
特開 2021-141188	プラズマ処理装置、半導体部材、及びエッジリング	2021年 9月16日
特開 2021-141215	基板処理装置及び基板処理方法	2021年 9月16日
特開 2021-141229	成膜方法	2021年 9月16日
特開 2021-141260	ウエハを処理する方法	2021年 9月16日
特開 2021-141277	載置台及びプラズマ処理装置	2021年 9月16日
特開 2021-141278	基板処理装置	2021年 9月16日
特開 2021-141292	基板処理装置および導電性配管劣化度合い判定方法	2021年 9月16日
特開 2021-141294	基板搬送システムおよびロードロックモジュール	2021年 9月16日
特開 2021-141305	プラズマ処理システム及びエッジリングの交換方法	2021年 9月16日
特開 2021-141308	クリーニング方法およびプラズマ処理装置	2021年 9月16日
特開 2021-141313	基板支持台、プラズマ処理システム及び環状部材の取り付け方法	2021年 9月16日

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2021-141115 2021-141116 2021-141136 2021-141143 2021-141188 2021-141215 2021-141229 2021-141260 2021-141277 2021-141278 2021-141292 2021-141294 2021-141305 2021-141308 2021-141313

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