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■ 2021年 出願公開件数ランキング 第33位 878件
(2020年:第43位 773件)
■ 2021年 特許取得件数ランキング 第45位 515件
(2020年:第54位 436件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2021-192425 | プラズマ処理装置 | 2021年12月16日 | |
特開 2021-192456 | プラズマ処理装置 | 2021年12月16日 | |
特開 2021-186785 | トラップ装置及び基板処理装置 | 2021年12月13日 | |
特開 2021-190033 | サーバ装置、顧客サポートサービス提供方法及び顧客サポートサービス提供プログラム | 2021年12月13日 | |
特開 2021-190436 | 基板処理方法及び基板処理装置 | 2021年12月13日 | |
特開 2021-190439 | 基板処理方法及び基板処理装置 | 2021年12月13日 | |
特開 2021-190441 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2021年12月13日 | |
特開 2021-190445 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2021年12月13日 | |
特開 2021-190446 | 貯留装置および貯留方法 | 2021年12月13日 | |
特開 2021-190475 | 基板処理装置及びインジェクタの取り付け方法 | 2021年12月13日 | |
特開 2021-190476 | 基板処理装置及びインジェクタの取り付け方法 | 2021年12月13日 | |
特開 2021-190498 | プラズマ処理方法およびプラズマ処理装置 | 2021年12月13日 | |
特開 2021-190499 | 現像処理装置、および現像処理方法 | 2021年12月13日 | |
特開 2021-190512 | 基板処理方法及び基板処理装置 | 2021年12月13日 | |
特開 2021-190514 | 基板処理装置とその製造方法、及び排気構造 | 2021年12月13日 |
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2021-192425 2021-192456 2021-186785 2021-190033 2021-190436 2021-190439 2021-190441 2021-190445 2021-190446 2021-190475 2021-190476 2021-190498 2021-190499 2021-190512 2021-190514
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