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東京エレクトロン株式会社

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  2021年 出願公開件数ランキング    第33位 878件 上昇2020年:第43位 773件)

  2021年 特許取得件数ランキング    第45位 515件 上昇2020年:第54位 436件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特表 2021-533558 垂直入射現場プロセス監視センサ 2021年12月 2日
特開 2021-184410 エッチング方法及びプラズマ処理装置 2021年12月 2日
特開 2021-184419 基板処理装置及びパラメータ取得方法 2021年12月 2日
特開 2021-184438 基板搬送装置及び基板把持判定方法 2021年12月 2日
特開 2021-184486 検査システム、ならびに検査システムの故障解析・予知方法 2021年12月 2日
特開 2021-184503 基板処理方法、および基板処理装置 2021年12月 2日
特開 2021-184505 基板処理システム及び基板処理方法 2021年12月 2日
再表 2020-153189 基板処理装置及び基板処理方法 2021年11月25日
再表 2020-153219 加工装置及び加工方法 2021年11月25日
再表 2020-158079 成膜方法および成膜装置、ならびに酸化処理方法 2021年11月25日
再表 2021-90798 エッチング方法、プラズマ処理装置、処理ガス、デバイスの製造方法、プログラム、及び記憶媒体 2021年11月25日
特表 2021-532179 光開始剤 2021年11月25日
特開 2021-181148 基板処理装置、研磨ヘッド、及び基板処理方法 2021年11月25日
特開 2021-181595 複合ターゲット、複合ターゲットの製造方法及び窒化物半導体膜の形成方法 2021年11月25日
特開 2021-181601 成膜方法及び成膜装置 2021年11月25日

882 件中 61-75 件を表示

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2021-533558 2021-184410 2021-184419 2021-184438 2021-184486 2021-184503 2021-184505 2020-153189 2020-153219 2020-158079 2021-90798 2021-532179 2021-181148 2021-181595 2021-181601

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