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■ 2023年 出願公開件数ランキング 第31位 722件
(2022年:第25位 842件)
■ 2023年 特許取得件数ランキング 第32位 762件
(2022年:第38位 690件)
(ランキング更新日:2025年9月12日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 7353054 | 載置台の製造方法および載置台 | 2023年 9月29日 | |
特許 7353150 | 載置台、及び、検査装置 | 2023年 9月29日 | |
特許 7353190 | 載置台における異物の検出方法、及び、検出装置 | 2023年 9月29日 | |
特許 7353199 | 成膜装置 | 2023年 9月29日 | |
特許 7353200 | 成膜方法 | 2023年 9月29日 | |
特許 7353209 | ダミーウエハ | 2023年 9月29日 | |
特許 7350613 | 基板処理装置 | 2023年 9月26日 | |
特許 7349784 | 基板処理システム、および基板処理方法 | 2023年 9月25日 | |
特許 7349845 | 基板処理システムにおける搬送方法 | 2023年 9月25日 | |
特許 7349861 | エッチング方法、ダメージ層の除去方法、および記憶媒体 | 2023年 9月25日 | |
特許 7349876 | 基板処理装置および装置洗浄方法 | 2023年 9月25日 | |
特許 7350153 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2023年 9月25日 | |
特許 7349240 | 基板倉庫及び基板検査方法 | 2023年 9月22日 | |
特許 7349329 | プラズマ処理装置及びエッチング方法 | 2023年 9月22日 | |
特許 7349513 | 回収機構、基板処理装置及び回収方法 | 2023年 9月22日 |
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7353054 7353150 7353190 7353199 7353200 7353209 7350613 7349784 7349845 7349861 7349876 7350153 7349240 7349329 7349513
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