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■ 2023年 出願公開件数ランキング 第31位 722件
(2022年:第25位 842件)
■ 2023年 特許取得件数ランキング 第32位 762件
(2022年:第38位 690件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 7345353 | 故障検知システム及び故障検知方法 | 2023年 9月15日 | |
特許 7345382 | プラズマ処理装置及び制御方法 | 2023年 9月15日 | |
特許 7345401 | 基板処理方法および基板処理装置 | 2023年 9月15日 | |
特許 7345403 | 基板処理装置及びパージ方法 | 2023年 9月15日 | |
特許 7345410 | 成膜方法及び成膜装置 | 2023年 9月15日 | |
特許 7345424 | 半導体装置の製造方法 | 2023年 9月15日 | |
特許 7345607 | 基板処理装置 | 2023年 9月15日 | |
特許 7345619 | 基板処理方法、及び基板処理装置 | 2023年 9月15日 | |
特許 7345642 | 基板処理装置のカップの洗浄方法、及び基板処理装置 | 2023年 9月15日 | |
特許 7344421 | 細胞の分化状態の評価方法 | 2023年 9月14日 | |
特許 7344720 | 基板処理方法、記憶媒体、及び基板処理装置 | 2023年 9月14日 | |
特許 7344726 | 塗布処理方法、塗布処理装置及び記憶媒体 | 2023年 9月14日 | |
特許 7344821 | プラズマ処理装置 | 2023年 9月14日 | |
特許 7344965 | 処理装置及び処理方法 | 2023年 9月14日 | |
特許 7343461 | エッチング方法及びプラズマ処理装置 | 2023年 9月12日 |
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7345353 7345382 7345401 7345403 7345410 7345424 7345607 7345619 7345642 7344421 7344720 7344726 7344821 7344965 7343461
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