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■ 2023年 出願公開件数ランキング 第31位 722件
(2022年:第25位 842件)
■ 2023年 特許取得件数ランキング 第32位 762件
(2022年:第38位 690件)
(ランキング更新日:2025年9月1日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 7365387 | 加熱処理装置及び加熱処理方法 | 2023年10月19日 | |
特許 7365423 | 加熱冷却装置及び加熱冷却方法 | 2023年10月19日 | |
特許 7363591 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2023年10月18日 | |
特許 7362258 | 基板処理方法及び成膜システム | 2023年10月17日 | |
特許 7362300 | 基板処理装置及びその制御方法 | 2023年10月17日 | |
特許 7362327 | ターゲット構造体及び成膜装置 | 2023年10月17日 | |
特許 7362400 | 載置台及びプラズマ処理装置 | 2023年10月17日 | |
特許 7362505 | 基板液処理装置及び液体吐出評価方法 | 2023年10月17日 | |
特許 7362787 | 接合装置、及び接合方法 | 2023年10月17日 | |
特許 7362850 | 基板処理装置 | 2023年10月17日 | |
特許 7361497 | 成膜装置 | 2023年10月16日 | |
特許 7361588 | エッジリング及び基板処理装置 | 2023年10月16日 | |
特許 7361624 | 加熱源の寿命推定システム、寿命推定方法、および検査装置 | 2023年10月16日 | |
特許 7361734 | 基板処理装置 | 2023年10月16日 | |
特許 7361846 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2023年10月16日 |
764 件中 151-165 件を表示
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7365387 7365423 7363591 7362258 7362300 7362327 7362400 7362505 7362787 7362850 7361497 7361588 7361624 7361734 7361846
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