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東京エレクトロン株式会社

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  2024年 特許取得件数ランキング    第25位 802件 上昇2023年:第32位 762件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7577546 基板処理方法及びプラズマ処理装置 2024年11月 5日
特許 7577829 データ収集システム、データ収集装置、データ収集方法及びデータ収集プログラム 2024年11月 5日
特許 7577012 基板処理方法及び基板処理装置 2024年11月 1日
特許 7577093 プラズマ処理システムおよびプラズマ処理方法 2024年11月 1日
特許 7577137 基板処理装置及び基板処理方法 2024年11月 1日
特許 7577138 基板処理装置及び基板処理方法 2024年11月 1日
特許 7576472 ガス吐出部材、液処理装置及び液処理方法 2024年10月31日
特許 7576484 エッチング方法及びプラズマ処理装置 2024年10月31日
特許 7576500 基板搬送装置、状態判定方法及びコンピュータ記憶媒体 2024年10月31日
特許 7574638 基板を搬送する装置及び基板を処理するシステム並びに基板を搬送する方法。 2024年10月29日
特許 7575175 基板処理装置、基板処理装置の温度制御方法及び基板処理装置を制御する制御装置のプログラム 2024年10月29日
特許 7575176 窒化ホウ素膜の成膜方法 2024年10月29日
特許 7575177 プラズマ処理装置及び基板支持部 2024年10月29日
特許 7575201 プラズマ処理方法 2024年10月29日
特許 7575353 プラズマ処理装置 2024年10月29日

809 件中 136-150 件を表示

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7577546 7577829 7577012 7577093 7577137 7577138 7576472 7576484 7576500 7574638 7575175 7575176 7575177 7575201 7575353

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