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東京エレクトロン株式会社

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  2024年 特許取得件数ランキング    第25位 802件 上昇2023年:第32位 762件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7586617 載置台 2024年11月19日
特許 7586618 基板搬送装置及び基板処理システム 2024年11月19日
特許 7586619 基板処理装置及び液体誘導部材 2024年11月19日
特許 7585281 パターン化された有機金属フォトレジスト及びパターニングの方法 2024年11月18日
特許 7585551 エッチング方法、プリコート方法及びエッチング装置 2024年11月18日
特許 7585560 基板処理システム及びエッジリングの取り付け方法 2024年11月18日
特許 7583415 ガス供給装置および半導体製造装置 2024年11月14日
特許 7583541 基板処理方法及び基板処理システム 2024年11月14日
特許 7583550 半導体装置の電極部及びその製造方法 2024年11月14日
特許 7583566 磁気抵抗効果素子の製造方法、酸化処理装置、及び基板処理システム 2024年11月14日
特許 7583601 基板処理方法 2024年11月14日
特許 7583663 上部電極アセンブリ 2024年11月14日
特許 7583835 基板処理装置、基板処理方法、及び記憶媒体 2024年11月14日
特許 7581953 スパッタリング処理を行う装置、及び方法 2024年11月13日
特許 7582746 制御方法及び基板搬送モジュール 2024年11月13日

809 件中 91-105 件を表示

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7586617 7586618 7586619 7585281 7585551 7585560 7583415 7583541 7583550 7583566 7583601 7583663 7583835 7581953 7582746

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