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東京エレクトロン株式会社

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  2024年 特許取得件数ランキング    第25位 802件 上昇2023年:第32位 762件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7575554 基板処理装置及びシャッタ 2024年10月29日
特許 7573188 照射されたエッチング溶液を使用して材料の粗さを低減するための処理システム及びプラットフォーム 2024年10月25日
特許 7573466 ガス処理装置 2024年10月25日
特許 7573501 基板上の保護膜の膜厚を制御する方法及び装置 2024年10月25日
特許 7573624 基板処理方法、基板処理装置および記憶媒体 2024年10月25日
特許 7572862 測定器及び測定方法 2024年10月24日
特許 7571498 基板処理装置及び基板処理方法 2024年10月23日
特許 7571529 台車及び基板処理装置の構成部材の支持方法 2024年10月23日
特許 7572120 治具、処理システム及び処理方法 2024年10月23日
特許 7572123 基板処理方法及び基板処理装置 2024年10月23日
特許 7572124 成膜方法 2024年10月23日
特許 7572126 プラズマ処理装置用の電極及びプラズマ処理装置 2024年10月23日
特許 7572127 真空処理装置 2024年10月23日
特許 7572128 プラズマ処理装置 2024年10月23日
特許 7572564 基板処理装置、情報処理方法及び記憶媒体 2024年10月23日

809 件中 151-165 件を表示

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7575554 7573188 7573466 7573501 7573624 7572862 7571498 7571529 7572120 7572123 7572124 7572126 7572127 7572128 7572564

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