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東京エレクトロン株式会社

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東京エレクトロン株式会社の商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7521391	基板処理装置及び基板処理方法	2024年 7月24日
特許 7521864	電気及び光学マーキングを用いた半導体デバイスのダイレベルの一意な認証及びシリアライゼーションのための方法	2024年 7月24日
特許 7522299	基板処理装置及び基板処理方法	2024年 7月24日
特許 7519768	吸着方法、載置台及びプラズマ処理装置	2024年 7月22日
特許 7519813	処理液吐出ノズル、ノズルアーム、基板処理装置、および基板処理方法	2024年 7月22日
特許 7519822	収納モジュール、基板処理システムおよび消耗部材の搬送方法	2024年 7月22日
特許 7519829	原料供給システム及び原料供給方法	2024年 7月22日
特許 7519842	成膜方法および成膜装置	2024年 7月22日
特許 7519848	基板処理装置、及び基板処理方法	2024年 7月22日
特許 7519874	プラズマ処理装置	2024年 7月22日
特許 7519877	プラズマ処理方法およびプラズマ処理装置	2024年 7月22日
特許 7519893	シャワーヘッドの製造方法およびシャワーヘッド、ならびにプラズマ処理装置	2024年 7月22日
特許 7519923	基板搬送装置、基板搬送方法、および基板処理システム	2024年 7月22日
特許 7519973	基板処理装置	2024年 7月22日
特許 7520119	液処理装置および液処理方法	2024年 7月22日

809 件中 361-375 件を表示

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7521391 7521864 7522299 7519768 7519813 7519822 7519829 7519842 7519848 7519874 7519877 7519893 7519923 7519973 7520119

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