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東京エレクトロン株式会社

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東京エレクトロン株式会社の商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7534249	プラズマ処理システム及び環状部材の取り付け方法	2024年 8月14日
特許 7531981	領域選択的堆積における横方向のフィルム成長を緩和するための方法	2024年 8月13日
特許 7531288	バルブ装置	2024年 8月 9日
特許 7531349	プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法	2024年 8月 9日
特許 7531351	基板処理方法、基板処理装置、および基板処理システム	2024年 8月 9日
特許 7531460	プラズマ処理装置	2024年 8月 9日
特許 7531641	載置台及び基板処理装置	2024年 8月 9日
特許 7531680	カソードユニットおよび成膜装置	2024年 8月 9日
特許 7530779	実行装置及び実行方法	2024年 8月 8日
特許 7530807	プラズマ処理装置、プラズマ処理システム及びエッジリングの位置合わせ方法	2024年 8月 8日
特許 7530824	膜厚推定方法、記憶媒体、及び膜厚推定装置	2024年 8月 8日
特許 7530845	誘導結合プラズマ励起用アンテナ、誘導結合プラズマ励起用アンテナユニット及びプラズマ処理装置	2024年 8月 8日
特許 7530846	基板処理装置、基板処理方法及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体	2024年 8月 8日
特許 7530861	処理液供給装置、液体置換方法、および記憶媒体	2024年 8月 8日
特許 7530954	基板処理装置、基板処理方法及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体	2024年 8月 8日

809 件中 316-330 件を表示

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7534249 7531981 7531288 7531349 7531351 7531460 7531641 7531680 7530779 7530807 7530824 7530845 7530846 7530861 7530954

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