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■ 2024年 出願公開件数ランキング 第27位 725件 (2023年:第31位 722件)
■ 2024年 特許取得件数ランキング 第25位 802件 (2023年:第32位 762件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7534249 | プラズマ処理システム及び環状部材の取り付け方法 | 2024年 8月14日 | |
特許 7531981 | 領域選択的堆積における横方向のフィルム成長を緩和するための方法 | 2024年 8月13日 | |
特許 7531288 | バルブ装置 | 2024年 8月 9日 | |
特許 7531349 | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 | 2024年 8月 9日 | |
特許 7531351 | 基板処理方法、基板処理装置、および基板処理システム | 2024年 8月 9日 | |
特許 7531460 | プラズマ処理装置 | 2024年 8月 9日 | |
特許 7531641 | 載置台及び基板処理装置 | 2024年 8月 9日 | |
特許 7531680 | カソードユニットおよび成膜装置 | 2024年 8月 9日 | |
特許 7530779 | 実行装置及び実行方法 | 2024年 8月 8日 | |
特許 7530807 | プラズマ処理装置、プラズマ処理システム及びエッジリングの位置合わせ方法 | 2024年 8月 8日 | |
特許 7530824 | 膜厚推定方法、記憶媒体、及び膜厚推定装置 | 2024年 8月 8日 | |
特許 7530845 | 誘導結合プラズマ励起用アンテナ、誘導結合プラズマ励起用アンテナユニット及びプラズマ処理装置 | 2024年 8月 8日 | |
特許 7530846 | 基板処理装置、基板処理方法及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体 | 2024年 8月 8日 | |
特許 7530861 | 処理液供給装置、液体置換方法、および記憶媒体 | 2024年 8月 8日 | |
特許 7530954 | 基板処理装置、基板処理方法及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体 | 2024年 8月 8日 |
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7534249 7531981 7531288 7531349 7531351 7531460 7531641 7531680 7530779 7530807 7530824 7530845 7530846 7530861 7530954
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1月11日(土) -
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1月14日(火) - 東京 港区
1月15日(水) -
1月15日(水) - 東京 千代田区
1月15日(水) -
1月15日(水) -
1月16日(木) - 石川 金沢市
1月16日(木) -
1月17日(金) - 東京 渋谷区
1月17日(金) -
1月17日(金) -
1月18日(土) -
1月14日(火) - 東京 港区
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