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東京エレクトロン株式会社

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  2024年 特許取得件数ランキング    第25位 802件 上昇2023年:第32位 762件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7520203 システム 2024年 7月22日
特許 7519243 搬送装置及び搬送方法 2024年 7月19日
特許 7519244 液処理装置及び液処理装置の運転方法 2024年 7月19日
特許 7519507 プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 2024年 7月19日
特許 7519525 基板支持器及びプラズマ処理装置 2024年 7月19日
特許 7516742 基板を処理する装置、処理ガスを濃縮する装置、及び基板を処理する方法 2024年 7月17日
特許 7517446 半導体装置を製造する方法、及び半導体装置を製造する装置 2024年 7月17日
特許 7516198 エッチング装置及びエッチング方法 2024年 7月16日
特許 7516203 基板処理方法及び基板処理システム 2024年 7月16日
特許 7516528 厚み測定装置及び厚み測定方法 2024年 7月16日
特許 7515310 載置台、基板処理装置及び基板処理方法 2024年 7月12日
特許 7515323 検査装置及び基板搬送方法 2024年 7月12日
特許 7515327 基板離脱方法及びプラズマ処理装置 2024年 7月12日
特許 7515340 真空処理装置、及び真空処理装置の制御方法 2024年 7月12日
特許 7515357 研削装置 2024年 7月12日

809 件中 376-390 件を表示

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7520203 7519243 7519244 7519507 7519525 7516742 7517446 7516198 7516203 7516528 7515310 7515323 7515327 7515340 7515357

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