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■ 2024年 出願公開件数ランキング 第27位 725件 (2023年:第31位 722件)
■ 2024年 特許取得件数ランキング 第25位 802件 (2023年:第32位 762件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7528659 | 基板を加熱する装置及び方法 | 2024年 8月 6日 | |
特許 7529362 | 基板処理装置、及び基板処理方法 | 2024年 8月 6日 | |
特許 7529363 | 半導体製造システム、制御装置、制御方法及びプログラム | 2024年 8月 6日 | |
特許 7529364 | 研削装置 | 2024年 8月 6日 | |
特許 7529412 | プラズマ処理方法およびプラズマ処理装置 | 2024年 8月 6日 | |
特許 7529629 | 基板処理方法および基板処理装置 | 2024年 8月 6日 | |
特許 7529902 | エッチング方法及びプラズマ処理システム | 2024年 8月 6日 | |
特許 7528038 | 静電チャック、基板支持器、プラズマ処理装置及び静電チャックの製造方法 | 2024年 8月 5日 | |
特許 7527150 | 基板処理装置及び搬送スケジュール作成方法 | 2024年 8月 2日 | |
特許 7527180 | 気泡挙動検出システムおよび気泡挙動検出方法 | 2024年 8月 2日 | |
特許 7527194 | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 | 2024年 8月 2日 | |
特許 7527237 | ガス供給装置、ガス供給方法、および基板処理装置 | 2024年 8月 2日 | |
特許 7527342 | プラズマ処理装置、プラズマ状態検出方法およびプラズマ状態検出プログラム | 2024年 8月 2日 | |
特許 7526590 | 基板処理装置、制御方法、及びコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 | 2024年 8月 1日 | |
特許 7526611 | 加工システム及び加工方法 | 2024年 8月 1日 |
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7528659 7529362 7529363 7529364 7529412 7529629 7529902 7528038 7527150 7527180 7527194 7527237 7527342 7526590 7526611
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1月15日(水) - 東京 千代田区
1月15日(水) -
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1月16日(木) -
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1月17日(金) -
1月18日(土) -
1月14日(火) - 東京 港区
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