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■ 2025年 出願公開件数ランキング 第37位 265件
(2024年:第27位 725件)
■ 2025年 特許取得件数ランキング 第21位 361件
(2024年:第25位 802件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2025-75396 | 基板処理装置、基板処理方法、及び基板処理プログラム | 2025年 5月15日 | |
特開 2025-75572 | 教示方法、および基板処理システム | 2025年 5月15日 | |
特開 2025-75952 | プラズマ処理装置 | 2025年 5月15日 | |
特開 2025-76096 | 着火条件算出方法及びプラズマ処理装置 | 2025年 5月15日 | |
特開 2025-76103 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2025年 5月15日 | |
特開 2025-74741 | 静電チャック、基板処理装置および基板処理方法 | 2025年 5月14日 | |
特開 2025-74788 | 基板処理方法及び基板処理装置 | 2025年 5月14日 | |
特開 2025-75070 | プラズマ処理装置 | 2025年 5月14日 | |
特開 2025-74313 | 基板処理装置 | 2025年 5月13日 | |
特開 2025-72725 | 成膜方法及び成膜装置 | 2025年 5月12日 | |
特開 2025-72766 | プラズマ制御方法、プラズマ処理装置及びプラズマ処理システム | 2025年 5月12日 | |
特開 2025-72918 | 移動装置、検査装置、および移動方法 | 2025年 5月12日 | |
特開 2025-72946 | 検査方法、検査装置、および検査システム | 2025年 5月12日 | |
特開 2025-72960 | シリサイド形成方法及び半導体製造装置 | 2025年 5月12日 | |
特開 2025-71859 | エッチング方法及びプラズマ処理システム | 2025年 5月 9日 |
267 件中 31-45 件を表示
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2025-75396 2025-75572 2025-75952 2025-76096 2025-76103 2025-74741 2025-74788 2025-75070 2025-74313 2025-72725 2025-72766 2025-72918 2025-72946 2025-72960 2025-71859
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