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東京エレクトロン株式会社

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  2025年 出願公開件数ランキング    第37位 265件 下降2024年:第27位 725件)

  2025年 特許取得件数ランキング    第21位 361件 上昇2024年:第25位 802件)

(ランキング更新日:2025年6月4日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2025-75396 基板処理装置、基板処理方法、及び基板処理プログラム 2025年 5月15日
特開 2025-75572 教示方法、および基板処理システム 2025年 5月15日
特開 2025-75952 プラズマ処理装置 2025年 5月15日
特開 2025-76096 着火条件算出方法及びプラズマ処理装置 2025年 5月15日
特開 2025-76103 基板処理装置および基板処理方法 2025年 5月15日
特開 2025-74741 静電チャック、基板処理装置および基板処理方法 2025年 5月14日
特開 2025-74788 基板処理方法及び基板処理装置 2025年 5月14日
特開 2025-75070 プラズマ処理装置 2025年 5月14日
特開 2025-74313 基板処理装置 2025年 5月13日
特開 2025-72725 成膜方法及び成膜装置 2025年 5月12日
特開 2025-72766 プラズマ制御方法、プラズマ処理装置及びプラズマ処理システム 2025年 5月12日
特開 2025-72918 移動装置、検査装置、および移動方法 2025年 5月12日
特開 2025-72946 検査方法、検査装置、および検査システム 2025年 5月12日
特開 2025-72960 シリサイド形成方法及び半導体製造装置 2025年 5月12日
特開 2025-71859 エッチング方法及びプラズマ処理システム 2025年 5月 9日

267 件中 31-45 件を表示

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2025-75396 2025-75572 2025-75952 2025-76096 2025-76103 2025-74741 2025-74788 2025-75070 2025-74313 2025-72725 2025-72766 2025-72918 2025-72946 2025-72960 2025-71859

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