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■ 2022年 出願公開件数ランキング 第428位 76件
(2021年:第283位 135件)
■ 2022年 特許取得件数ランキング 第234位 137件
(2021年:第250位 116件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 7158533 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法、プログラムおよび記録媒体 | 2022年10月21日 | |
特許 7157236 | 基板処理方法、半導体装置の製造方法、プログラム及び基板処理装置 | 2022年10月19日 | |
特許 7155390 | 基板処理方法、基板処理装置、プログラム及び半導体装置の製造方法 | 2022年10月18日 | |
特許 7154325 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法およびプログラム | 2022年10月17日 | |
特許 7150923 | ガス供給ノズル、基板処理装置、半導体装置の製造方法およびプログラム | 2022年10月11日 | |
特許 7149407 | 半導体装置の製造方法、基板処理方法、基板処理装置、およびプログラム | 2022年10月 6日 | |
特許 7149423 | 基板処理方法、半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム | 2022年10月 6日 | |
特許 7149431 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法およびプログラム | 2022年10月 6日 | |
特許 7138130 | 基板処理方法、半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | 2022年 9月15日 | |
特許 7138238 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム | 2022年 9月15日 | |
特許 7135190 | 半導体装置の製造方法、基板処理方法、基板処理装置、およびプログラム | 2022年 9月12日 | |
特許 7129486 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置及びプログラム | 2022年 9月 1日 | |
特許 7124103 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法およびプログラム | 2022年 8月23日 | |
特許 7123100 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム | 2022年 8月22日 | |
特許 7121786 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法および基板処理方法 | 2022年 8月18日 |
137 件中 31-45 件を表示
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7158533 7157236 7155390 7154325 7150923 7149407 7149423 7149431 7138130 7138238 7135190 7129486 7124103 7123100 7121786
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