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■ 2022年 出願公開件数ランキング 第428位 76件
(2021年:第283位 135件)
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(2021年:第250位 116件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 7098677 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム | 2022年 7月11日 | |
特許 7096279 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置、プログラム、および基板処理方法 | 2022年 7月 5日 | |
特許 7088990 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法およびプログラム | 2022年 6月21日 | |
特許 7087035 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム | 2022年 6月20日 | |
特許 7084898 | 処理装置、装置管理コントローラ、及びプログラム並びに半導体装置の製造方法 | 2022年 6月15日 | |
特許 7083890 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | 2022年 6月13日 | |
特許 7082630 | 基板処理装置、半導体装置の表示方法、半導体装置の製造方法、及びプログラム | 2022年 6月 8日 | |
特許 7079317 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム | 2022年 6月 1日 | |
特許 7079340 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置、及びプログラム | 2022年 6月 1日 | |
特許 7076490 | 基板処理方法、半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム | 2022年 5月27日 | |
特許 7076499 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法およびプログラム | 2022年 5月27日 | |
特許 7074790 | 基板処理装置、及び半導体装置の製造方法 | 2022年 5月24日 | |
特許 7072012 | 基板処理方法、半導体装置の製造方法、基板処理装置、及びプログラム | 2022年 5月19日 | |
特許 7066829 | 基板処理装置、ガスノズルおよび半導体装置の製造方法 | 2022年 5月13日 | |
特許 7065818 | 半導体装置の製造方法、基板処理方法、基板処理装置、およびプログラム | 2022年 5月12日 |
137 件中 61-75 件を表示
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7098677 7096279 7088990 7087035 7084898 7083890 7082630 7079317 7079340 7076490 7076499 7074790 7072012 7066829 7065818
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