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ラム　リサーチ　コーポレーション

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ラム　リサーチ　コーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7896068	インピーダンス整合のためのフィードバック制御システム	2026年 7月28日
特許 7895998	誘電体エッチングにおけるプロファイルツイスティング制御	2026年 7月28日
特許 7894488	処理モジュールにターボポンプを取付けるための取付板	2026年 7月23日
特許 7891056	高アスペクト比フィーチャのエッチング中の限界寸法制御および保護層の形成に使用される炭素ベース堆積物	2026年 7月15日
特許 7891054	閉ループ多出力無線周波数（ＲＦ）整合	2026年 7月15日
特許 7886924	高電力、高圧プロセス用の分割されたガス分配プレート	2026年 7月 8日
特許 7886387	複数の状態で反射電力を低減するようにチューニングするためのシステムおよび方法	2026年 7月 7日
特許 7885327	カルコゲナイド処理技術および装置	2026年 7月 6日
特許 7885197	エッジエクスクルージョン制御	2026年 7月 6日
特許 7882780	プラズマ処理チャンバの調整方法	2026年 6月30日
特許 7881494	酸化スズを使用した高度な自己整列マルチパターニング	2026年 6月29日
特許 7880938	プラズマ加熱された窓のマルチゾーン冷却	2026年 6月26日
特許 7880816	半導体を製造するためのレシピの決定	2026年 6月26日
特許 7879182	小さい角発散でピークイオンエネルギ増強を達成するためのシステムおよび方法	2026年 6月23日
特許 7876647	高アスペクト比の３ＤＮＡＮＤエッチングのための側壁のノッチ低減	2026年 6月19日

139 件中 46-60 件を表示

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7896068 7895998 7894488 7891056 7891054 7886924 7886387 7885327 7885197 7882780 7881494 7880938 7880816 7879182 7876647

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