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ラム　リサーチ　コーポレーション

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ラム　リサーチ　コーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7913144	基板処理システムのダイレクトドライブ回路内のスイッチの保護システム	2026年 8月31日
特許 7913041	回転可能なトッププレートアセンブリを有するマルチステーションツール	2026年 8月31日
特許 7912624	基板位置の検出および調整	2026年 8月28日
特許 7910068	選択的堆積および抵抗率低減による完全整合ビアの集積化	2026年 8月24日
特許 7910123	ケイ素含有膜のプラズマ強化原子層堆積	2026年 8月24日
特許 7909593	ハイブリッド周波数プラズマ源	2026年 8月21日
特許 7909012	回転アライメントを必要とするエッジリングの自動搬送	2026年 8月20日
特許 7908734	ＰＬＤ用窒化スカンジウムアルミニウムターゲットの製造方法	2026年 8月20日
特許 7904961	放射状ガスカーテンおよび／または内部容積制御を備えたウエハハンドリングロボット	2026年 8月13日
特許 7904300	基板処理システムの自律的な制御及び検査のためのハードウェア・ソフトウェア統合型コンピュータビジョンシステム	2026年 8月12日
特許 7904268	多重ヒータアレイを備えた静電チャックのための長寿命かつ拡張温度範囲の埋め込みダイオード設計	2026年 8月12日
特許 7902906	モリブデン含有皮膜の堆積のための前駆体	2026年 8月10日
特許 7902900	３ＤＮＡＮＤ及び他の用途のためのモリブデン充填	2026年 8月10日
特許 7901719	基板処理システムにおいてプラズマを生成するために電力を供給する直接駆動システム用のＲＦ基準測定回路	2026年 8月 6日
特許 7897967	裏面処理のためのステーション可変支持フィーチャを備えたマルチステーション処理ツール	2026年 7月30日

139 件中 31-45 件を表示

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7913144 7913041 7912624 7910068 7910123 7909593 7909012 7908734 7904961 7904300 7904268 7902906 7902900 7901719 7897967

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