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ラム リサーチ コーポレーション

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 ■ 2026年 出願公開件数ランキング    第195位 152件 (下降2025年:第127位 267件)

 ■ 2026年 特許取得件数ランキング    第174位 138件 (下降2025年:第136位 217件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7929860 高アスペクト比エッチングのための多状態パルシング 2026年10月 5日
特許 7929966 ボトムおよびミドルエッジリング 2026年10月 5日
特許 7927924 コインスロットおよびボールロックセラミックリフトピンホルダ 2026年10月 1日
特許 7927727 半導体製造機器のデジタルツインの生成 2026年10月 1日
特許 7926603 金属含有フォトレジストのためのオールインワン乾式現像 2026年 9月29日
特許 7924989 静電チャック用の三極電極配置 2026年 9月25日
特許 7923260 マスクCDの制御 2026年 9月17日
特許 7922223 ビニングを使用して低周波サイクル中に電力を増加させるシステム及び方法 2026年 9月15日
特許 7920364 調節可能エッジシースシステム用のパルスRF信号における電圧設定点の調節 2026年 9月14日
特許 7920051 強化された閉ループガスベースの熱交換 2026年 9月14日
特許 7919254 3D NAND及び他の用途のためのモリブデン充填 2026年 9月11日
特許 7917650 二重プレナムフラクタルシャワーヘッド 2026年 9月 8日
特許 7917648 陽極酸化およびコーティングされた表面の巨視的なテクスチャ 2026年 9月 8日
特許 7915281 静電容量式センサ基板によるシャワーヘッドから台座までのギャップ測定 2026年 9月 3日
特許 7913144 基板処理システムのダイレクトドライブ回路内のスイッチの保護システム 2026年 8月31日

138 件中 16-30 件を表示

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7929860 7929966 7927924 7927727 7926603 7924989 7923260 7922223 7920364 7920051 7919254 7917650 7917648 7915281 7913144

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