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ラム　リサーチ　コーポレーション

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ラム　リサーチ　コーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7571017	半導体製造における二相冷却	2024年10月22日
特許 7571193	低角度拡散のマルチレベルパラメータおよび周波数パルス	2024年10月22日
特許 7569858	無線周波数支援プラズマ生成におけるインピーダンス変換	2024年10月18日
特許 7568654	均一性調整のためのシャワーヘッドインサート	2024年10月16日
特許 7566873	複数の出力ポートを有する無線周波数電力発生器	2024年10月15日
特許 7565916	処理チャンバの表面からの金属汚染物質の除去	2024年10月11日
特許 7564088	アーク発生を防止または抑制するための化学蒸着ツール	2024年10月 8日
特許 7562637	マスク形状を制御し、選択性対プロセスマージンのトレードオフを破壊するためのマルチステートＲＦパルス	2024年10月 7日
特許 7562668	基板処理において均一性を実現する変圧器の使用のためのシステム及び方法	2024年10月 7日
特許 7562696	フォトレジストのドライ除去用プロセスツール	2024年10月 7日
特許 7561123	エッチングチャンバーにおける方向性堆積	2024年10月 3日
特許 7560492	可変インダクタ装置	2024年10月 2日
特許 7557569	照射フォトレジストパターニングのための統合乾式プロセス	2024年 9月27日
特許 7555842	半導体プロセスモジュールからｉｎ－ｓｉｔｕで消耗部品を取り出して交換するためのシステム	2024年 9月25日
特許 7555909	高アスペクト比パターニング及び縦方向スケーリングのための膜スタック簡素化	2024年 9月25日

135 件中 16-30 件を表示

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7571017 7571193 7569858 7568654 7566873 7565916 7564088 7562637 7562668 7562696 7561123 7560492 7557569 7555842 7555909

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