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ラム　リサーチ　コーポレーション

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ラム　リサーチ　コーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特開 2016-46532	コバルトの間隙をボイドなしで充填する方法及び装置	2016年 4月 4日
特開 2016-40409	反応性の分子パージガスを使用したＲＦプラズマベースの基板処理システムにおける欠陥制御及びＤＣバイアス安定性の向上	2016年 3月24日
特開 2016-40825	差動排気式の反応性ガス注入器	2016年 3月24日
特開 2016-35103	蒸気供給のためのシステムおよび方法	2016年 3月17日
特開 2016-36011	多孔バッフルを備えた低容積シャワーヘッド	2016年 3月17日
特開 2016-36020	二次パージ対応ＡＬＤシステムにおけるシャワーヘッド裏側の寄生プラズマを抑制するための方法及び装置	2016年 3月17日
特開 2016-32117	タングステン含有層をエッチングする方法	2016年 3月 7日
特開 2016-29642	中空陰極放電（ＨＣＤ）を抑制する容量結合プラズマ電極およびガス分配フェースプレート	2016年 3月 3日
特開 2016-27611	前駆体のバルク気化のためのシステムおよび方法	2016年 2月18日
特開 2016-21564	半導体基板処理装置での調整可能な対流−拡散ガス流のための中央ガスインジェクタを含むセラミックシャワーヘッド	2016年 2月 4日
特開 2016-6875	半導体基板支持アセンブリの温度制御板における動作不良熱制御素子の自動修正	2016年 1月14日

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2016-46532 2016-40409 2016-40825 2016-35103 2016-36011 2016-36020 2016-32117 2016-29642 2016-27611 2016-21564 2016-6875

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