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ラム　リサーチ　コーポレーション

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公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特開 2016-103632	エネルギー吸収体ガスへの衝突共鳴エネルギー伝達によるプラズマのＶＵＶ放出の調節	2016年 6月 2日
特開 2016-86161	排出流の方向が単一のバッファステーション	2016年 5月19日
特開 2016-81933	プラズマシステムでの不良に関連する構成要素の識別	2016年 5月16日
特開 2016-82233	マルチモードパルスプロセスにおいてプロセス点を検出するためのシステム及び方法	2016年 5月16日
特開 2016-72625	プラズマ援用原子層堆積におけるＲＦ補償のための方法及び装置	2016年 5月 9日
特開 2016-66794	ＡＬＤにより形成される窒化シリコン膜の表面形状内ウェットエッチング速度を均一に低下させるための方法及び装置	2016年 4月28日
特開 2016-63221	寄生プラズマを抑制してウエハ内での不均一性を低減するための基板処理システム	2016年 4月25日
特開 2016-63223	裏面成膜を低減し、基板端部の厚さ変化を緩和するシステムおよび方法	2016年 4月25日
特開 2016-63226	プラズマ処理チャンバの構成部品を洗浄する湿式洗浄工程	2016年 4月25日
特開 2016-58727	自己整合コンタクト方式のための犠牲プレメタル誘電体	2016年 4月21日
特開 2016-54159	プラズマ処理システムを制御するための方法および装置	2016年 4月14日
特開 2016-54303	加熱プレートおよび基板支持体	2016年 4月14日
特開 2016-51900	高アスペクト比構造におけるコンタクト洗浄	2016年 4月11日
特開 2016-44361	オンデマンド充填アンプル	2016年 4月 4日
特開 2016-46524	シャワーヘッドの能動加熱および／またはペデスタルの冷却によって低温ＡＬＤシステム内で安定した蒸着速度制御を行うための方法および装置	2016年 4月 4日

71 件中 46-60 件を表示

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2016-103632 2016-86161 2016-81933 2016-82233 2016-72625 2016-66794 2016-63221 2016-63223 2016-63226 2016-58727 2016-54159 2016-54303 2016-51900 2016-44361 2016-46524

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