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ラム リサーチ コーポレーション

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  2021年 特許取得件数ランキング    第407位 63件 上昇2020年:第614位 36件)

(ランキング更新日:2025年2月18日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6812142 縁における膜厚の均一性を向上させるための、プラズマの抑制とウエハの縁との分離 2021年 1月13日
特許 6812450 パターン形成プロセスを制御する方法、リソグラフィ装置、メトロロジ装置リソグラフィックセル、および関連するコンピュータプログラム 2021年 1月13日
特許 6807659 レシピセットの実行を同期化するためのシステム及び方法 2021年 1月 6日
特許 6809885 基板におけるイオンビームの入射角の制御 2021年 1月 6日

64 件中 61-64 件を表示

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6812142 6812450 6807659 6809885

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