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ラム　リサーチ　コーポレーション

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公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 6945975	ガス供給システム	2021年10月 6日
特許 6940273	ウエハ裏面における堆積の低減のための可変温度ハードウェアおよび方法	2021年 9月22日
特許 6934705	ハードマスクのための金属誘電体膜の蒸着	2021年 9月15日
特許 6935985	原子スケールのＡＬＤ（原子層堆積）プロセスとＡＬＥ（原子層エッチング）プロセスとの統合	2021年 9月15日
特許 6930826	熱閉塞体を備える静電チャック	2021年 9月 1日
特許 6921524	半導体処理装置においてシャワーヘッド傾斜を動的に調整するためのアクチュエータ	2021年 8月18日
特許 6916303	可動エッジリング設計	2021年 8月11日
特許 6918451	エッジリングアセンブリおよびプラズマ処理のためのシステム	2021年 8月11日
特許 6918460	カルコゲナイド材料を封止する方法	2021年 8月11日
特許 6912179	正面開口式リングポッド	2021年 8月 4日
特許 6908426	マルチステーション型堆積システムにおける膜厚整合のための、サイクル及び時間が可変のＲＦ活性化方法	2021年 7月28日
特許 6909034	バッフルプレートおよびシャワーヘッドアセンブリならびに対応する製造方法	2021年 7月28日
特許 6909590	より低い周波数のＲＦ発生器の周期においてより高いＲＦ発生器に向かって反射する電力を低減し、反射電力を低減させるための関係を用いるプラズマシステム、制御装置および方法	2021年 7月28日
特許 6912164	流れ均一性を改善させるためのフェースプレート穴を有する低容積シャワーヘッド	2021年 7月28日
特許 6904665	高温基板台座モジュール及びその構成要素	2021年 7月21日

64 件中 16-30 件を表示

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6945975 6940273 6934705 6935985 6930826 6921524 6916303 6918451 6918460 6912179 6908426 6909034 6909590 6912164 6904665

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