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ラム　リサーチ　コーポレーション

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　■　2021年特許取得件数ランキング　　　第407位　63件（2020年：第614位　36件）

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ラム　リサーチ　コーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 6859426	エッジリングの位置決めおよびセンタリング機構を組み込んだプラズマシース調整のための交換可能および／または折りたたみ式エッジリングアセンブリ	2021年 4月14日
特許 6851731	プラズマエッチング耐性コーティングを備えたプラズマエッチング装置	2021年 3月31日
特許 6852974	エッジに限局されたイオン軌道制御及びプラズマ動作を通じた、最端エッジにおけるシース及びウエハのプロフィール調整	2021年 3月31日
特許 6853065	プラズマおよび蒸気処理の組み合わせを用いたＡＬ２Ｏ３の原子層エッチング	2021年 3月31日
特許 6849339	プラズマ電力レベルに応じて二様態プロセスガス組成を使用するプラズマエッチングのための方法	2021年 3月24日
特許 6837733	ウエハ均一性を改善するための装置および方法	2021年 3月 3日
特許 6832057	垂直ＮＡＮＤホールエッチングのためのめっき金属ハードマスク	2021年 2月24日
特許 6832067	シリコン貫通ビア内への銅の電着のための、ニッケルライナおよびコバルトライナの前処理	2021年 2月24日
特許 6832088	感受性材料上にハロゲン化物含有ＡＬＤ膜を統合する方法	2021年 2月24日
特許 6832633	基板処理のための分光反射率計付き装置	2021年 2月24日
特許 6821292	タングステン含有層をエッチングする方法	2021年 1月27日
特許 6821327	オンデマンド充填アンプルの補充	2021年 1月27日
特許 6822767	半導体製造チャンバ内の消耗部品の余寿命の推定	2021年 1月27日
特許 6814614	システムメンテナンス中に最小接触面積フィーチャおよびウエハ移動ピンを保管して整理するための設計	2021年 1月20日
特許 6815745	背面ガス供給管を備えた基板ペデスタルモジュールおよびその製造方法	2021年 1月20日

64 件中 46-60 件を表示

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6859426 6851731 6852974 6853065 6849339 6837733 6832057 6832067 6832088 6832633 6821292 6821327 6822767 6814614 6815745

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