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ラム　リサーチ　コーポレーション

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ラム　リサーチ　コーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 6907018	積層ヒータとヒータ電圧入力との間の接続	2021年 7月21日
特許 6901266	付加製造されたガス分配マニホールド	2021年 7月14日
特許 6902849	蒸着金属酸化物含有ハードマスクのＥＵＶフォトパターニング	2021年 7月14日
特許 6903135	冷却ガス区画および対応する溝ならびに単極静電クランプ電極パターンを備える静電チャック	2021年 7月14日
特許 6899659	反射スペクトルマッチングおよび表面動力学モデル最適化によるエッチングプロファイル最適化のための方法および装置	2021年 7月 7日
特許 6895836	半導体パターニング用途のためのドープＡＬＤ膜	2021年 6月30日
特許 6896372	エッチングチャンバ及び堆積チャンバに利用するための長寿命溶射コーティング	2021年 6月30日
特許 6896389	プロセスチャンバおよびプロセスチャンバの動作パラメータを測定するための方法	2021年 6月30日
特許 6890963	シャワーヘッドアセンブリ	2021年 6月18日
特許 6879724	ＲＦ端子から隣接する非ＲＦ端子への電気絶縁破壊を避けるための装置および方法	2021年 6月 2日
特許 6878527	寄生プラズマを抑制してウエハ内での不均一性を低減するための基板処理システム	2021年 5月26日
特許 6878616	ボトムおよびミドルエッジリング	2021年 5月26日
特許 6868951	蒸気供給のためのシステムおよび方法	2021年 5月12日
特許 6863941	半導体ウエハ処理中におけるエッジ処理制御のための可動式エッジ連結リング	2021年 4月21日
特許 6857960	オンデマンド充填アンプル	2021年 4月14日

64 件中 31-45 件を表示

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6907018 6901266 6902849 6903135 6899659 6895836 6896372 6896389 6890963 6879724 6878527 6878616 6868951 6863941 6857960

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