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ラム　リサーチ　コーポレーション

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　■　2023年特許取得件数ランキング　　　第292位　112件（2022年：第512位　53件）

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ラム　リサーチ　コーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特開 2023-52669	複数のステーションシステムにおいてプラズマを平準化するために使用されるモジュール式レシピ制御較正（ＭＲＣＣ）装置	2023年 4月11日
特表 2023-514830	半導体処理チャンバの構成要素を調整する方法	2023年 4月11日
特表 2023-514831	グラフェン集積化	2023年 4月11日
特表 2023-514839	基板処理台座のための内部フィンを備えた冷却剤チャネル	2023年 4月11日
特表 2023-514841	局所的な裏面堆積を防止するためのウエハリフトピン機構	2023年 4月11日
特表 2023-514842	裏面反応性阻害ガス	2023年 4月11日
特表 2023-514496	伸長ＲＦストラップを有するインピーダンス整合器	2023年 4月 6日
特表 2023-514497	局所応力調整のためのＵＶ硬化	2023年 4月 6日
特表 2023-514547	プラズマ処理システムにおけるＲＦ信号接地帰還の最適化	2023年 4月 6日
特表 2023-514548	プラズマ処理システムのためのＲＦ信号フィルタ構成	2023年 4月 6日
特表 2023-514549	基板処理用の静電エッジリング取り付けシステム	2023年 4月 6日
特表 2023-514634	半導体用高弾性ホウ素系セラミックス	2023年 4月 6日
特表 2023-514065	自動回転プリアライメントを用いたエッジリング搬送	2023年 4月 5日
特表 2023-513938	ヒートスプレッダを備えた高温基板支持体	2023年 4月 4日
特表 2023-513771	無限選択性を有する高アスペクト比エッチング	2023年 4月 3日

259 件中 181-195 件を表示

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2023-52669 2023-514830 2023-514831 2023-514839 2023-514841 2023-514842 2023-514496 2023-514497 2023-514547 2023-514548 2023-514549 2023-514634 2023-514065 2023-513938 2023-513771

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