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■ 2023年 出願公開件数ランキング 第146位 259件
(2022年:第198位 187件)
■ 2023年 特許取得件数ランキング 第292位 112件
(2022年:第512位 53件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特表 2023-522164 | アルカリ電気めっき溶液からの電気充填 | 2023年 5月29日 | |
特表 2023-521989 | ガス冷却を使用するシャワーヘッド熱管理 | 2023年 5月26日 | |
特表 2023-521755 | 原子層堆積中の損失防止 | 2023年 5月25日 | |
特開 2023-71766 | 半導体処理で使用するための静電チャック | 2023年 5月23日 | |
特表 2023-521251 | 刺激応答性ポリマー膜の制御された分解 | 2023年 5月23日 | |
特表 2023-520675 | 核形成阻害を伴うフィーチャ充填 | 2023年 5月18日 | |
特表 2023-520391 | フォトレジストのドライ除去用プロセスツール | 2023年 5月17日 | |
特表 2023-520600 | 基板処理システムのプロセスモジュールバイアスアセンブリ用の摺動・枢動アセンブリ | 2023年 5月17日 | |
特表 2023-520217 | 熱エッチングのための急速かつ正確な温度制御 | 2023年 5月16日 | |
特表 2023-520218 | 半導体材料の精密な選択性エッチング | 2023年 5月16日 | |
特表 2023-519834 | 増感剤の気相注入によるEUVドライレジスト増感のための装置及び処理 | 2023年 5月15日 | |
特表 2023-519849 | シーム軽減、およびギャップ充填用一体化ライナー | 2023年 5月15日 | |
特表 2023-519955 | 高調波測定および均一性制御のためのRF磁界センサ | 2023年 5月15日 | |
特表 2023-519960 | プラズマシース安定化のための無線周波数パルス開始電力スパイクを制御するための方法およびシステム | 2023年 5月15日 | |
特表 2023-520034 | 一体型シールを備える冷却エッジリング | 2023年 5月15日 |
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2023-522164 2023-521989 2023-521755 2023-71766 2023-521251 2023-520675 2023-520391 2023-520600 2023-520217 2023-520218 2023-519834 2023-519849 2023-519955 2023-519960 2023-520034
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