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ラム　リサーチ　コーポレーション

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公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特表 2023-520035	調節ガスの局所供給用エッジリング	2023年 5月15日
特開 2023-65471	冷却ガス区画および対応する溝ならびに単極静電クランプ電極パターンを備える静電チャック	2023年 5月12日
特表 2023-519708	塩素を用いた高アスペクト比誘電体エッチング	2023年 5月12日
特表 2023-519306	レーザ透過型センサを用いたウエハの厚さおよびギャップのその場モニタリング	2023年 5月10日
特表 2023-518718	シャワーヘッドパージカラー	2023年 5月 8日
特表 2023-518837	基板処理チャンバ用の誘電体窓	2023年 5月 8日
特開 2023-62052	小さい角発散でピークイオンエネルギ増強を達成するためのシステムおよび方法	2023年 5月 2日
特表 2023-518201	基板処理システムにおいてプラズマを生成するために電力を供給する直接駆動システム用のＲＦ基準測定回路	2023年 4月28日
特表 2023-517668	Ｃ２Ｈ２のような炭素成膜前駆体の安定化	2023年 4月26日
特表 2023-517769	プラズマ処理チャンバの調整方法	2023年 4月26日
特表 2023-517291	モリブデンの原子層エッチング	2023年 4月25日
特表 2023-516944	放射状ガスカーテンおよび／または内部容積制御を備えたウエハハンドリングロボット	2023年 4月21日
特表 2023-516588	ＥＵＶパターニングにおける欠陥低減のための多層ハードマスク	2023年 4月20日
特表 2023-516739	調節可能エッジシースシステム用のパルスＲＦ信号における電圧設定点の調節	2023年 4月20日
特表 2023-516490	基板処理システム用のスタッドアレイ付き接合層を含む基板支持台	2023年 4月19日

259 件中 151-165 件を表示

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2023-520035 2023-65471 2023-519708 2023-519306 2023-518718 2023-518837 2023-62052 2023-518201 2023-517668 2023-517769 2023-517291 2023-516944 2023-516588 2023-516739 2023-516490

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