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ラム　リサーチ　コーポレーション

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ラム　リサーチ　コーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7675090	基板処理システムにおいてプラズマを生成するために電力を供給する直接駆動システム用のＲＦ基準測定回路	2025年 5月12日
特許 7672454	エッジリング摩耗補償のためのシステムおよび方法	2025年 5月 7日
特許 7671583	マルチ周波数無線周波数（ＲＦ）バイアス用のＲＦフィルタ	2025年 5月 2日
特許 7671696	独立して調節可能な台座を用いるマルチステーション半導体処理	2025年 5月 2日
特許 7671771	半導体ファブツール用の台座プレートを含む台座、および台座プレートを配向させるための方法	2025年 5月 2日
特許 7669514	金属含有フォトレジストからの金属汚染の制御	2025年 4月28日
特許 7668741	基板搬送ロボットの自動較正用治具	2025年 4月25日
特許 7668814	調節ガスの局所供給用エッジリング	2025年 4月25日
特許 7668865	遠隔プラズマ膜堆積におけるウエハレベル均一性制御	2025年 4月25日
特許 7668292	ハードマスクの選択性改善のための不活性ガス注入	2025年 4月24日
特許 7667165	基板処理用の静電エッジリング取り付けシステム	2025年 4月22日
特許 7667167	コア除去	2025年 4月22日
特許 7667226	ウエハチャックアセンブリ	2025年 4月22日
特許 7664814	ＲＦ供給のためのファラデーケージを埋め込まれたセラミック製静電チャックと、操作、監視、及び制御のための関連の方法	2025年 4月18日
特許 7664917	同調回路における周波数ベースのインピーダンス調整	2025年 4月18日

215 件中 136-150 件を表示

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7675090 7672454 7671583 7671696 7671771 7669514 7668741 7668814 7668865 7668292 7667165 7667167 7667226 7664814 7664917

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